[发明专利]应变体和具有该应变体的力传感器

权利要求书

1.一种应变体，具有：

中央部；

外周部，其包围所述中央部的周围；

多个连接部，其连接所述中央部和所述外周部；

多个变形传感器，其设置在所述连接部的主表面上；以及

多个参考电阻，其设置在所述中央部的主表面上，与所述多个变形传感器共同构成桥接电路。

2.根据权利要求1所述的应变体，其中，

所述中央部与外部的第一支撑部件连接，

所述外周部与外部的第二支撑部件连接，

所述外周部和所述连接部的弹性比所述中央部的弹性大。

3.根据权利要求1所述的应变体，还具有：

电极，其设置在所述中央部的主表面上，与所述多个变形传感器和所述多个参考电阻电连接，用于提取所述桥接电路的检测信号；以及

配线，其设置在所述中央部和所述连接部的主表面上，将所述多个变形传感器、所述多个参考电阻以及所述电极电连接。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的应变体，其中，所述多个变形传感器为金属薄膜电阻体。

5.根据权利要求4所述的应变体，其中，所述多个变形传感器含有铬和氮。

6.根据权利要求3所述的应变体，其中，所述多个变形传感器、所述多个参考电阻、所述电极、以及所述配线的布局构成为：在连结所述外周部的角部的对角线上成镜面对称。

7.一种力传感器，具有：

权利要求1所述的应变体；

圆筒形的主体；以及

圆筒形的可动体，其能够相对于所述主体运动，

其中，所述应变体的所述中央部与作为支撑部件的所述主体和所述可动体中的一个连接，

所述应变体的所述外周部与作为支撑部件的所述主体和所述可动体中的另一个连接。

8.根据权利要求7所述的力传感器，其中，伴随所述可动体相对于所述主体的动作的所述外周部和所述连接部的弹性变形，比所述中央部的弹性变形大。

9.根据权利要求7或8所述的力传感器，还具有：

至少3个圆形的开口部，其在所述可动体的周围等间距设置；

挡块，其配置在所述开口部各自的内部，具有第一侧面，所述第一侧面具有小于所述开口部的直径的第一外径；以及

固定部件，其将所述挡块固定至所述主体。