[发明专利]应变体和具有该应变体的力传感器

说明书

本发明的目的在于提供一种能够降低变形传感器和参考电阻之间产生的温度误差和外部噪音的影响，且可以提高检测精度的应变体，以及具有该应变体的力传感器。应变体具有中央部161、外周部162、连接部163、多个变形传感器Sa1～Sb8、以及多个参考电阻Ra1～Rb8。外周部162包围中央部的周围。多个连接部163连接中央部和外周部。多个变形传感器Sa1～Sb8设置在连接部的主表面上。多个参考电阻Ra1～Rb8设置在中央部的主表面上，与多个变形传感器共同构成桥接电路Ba1～Bb4。

技术领域

本发明的实施方式涉及具有例如可用于机械臂的应变体的六轴力传感器等。

背景技术

已知有一种六轴力传感器，其例如用于机械臂等，可以检测XYZ方向的外力和扭矩(例如参考专利文献1、2)。

在这种力传感器中，施加在作为可动部的受力体的外力被传递到应变体，设置在应变体的变形传感器(应变计)的变形转换为电信号，从而被检测到。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2015-429209号公报

专利文献2：(日本)特开2013-61305号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，以高密度和高精度将高灵敏度的变形传感器设置在应变体上并不容易。因此，将用于构成桥接电路的参考电阻和变形传感器一起一体地设置在应变体上十分困难。其结果，变形传感器和参考电阻之间产生的温度误差和外部噪音的影响会增大，因此检测精度会下降。

而且，为了弥补检测精度，需要配置更多数量的变形传感器，不仅是在应变体的表面上，还需要在例如应变体的侧面上用粘合剂等粘贴变形传感器。

本发明的实施方式提供一种能够降低变形传感器和参考电阻之间产生的温度误差和外部噪音的影响，且可以提高检测精度的应变体，以及具有该应变体的力传感器。

解决课题的手段

实施方式的应变体具有：中央部；外周部，其包围所述中央部的周围；多个连接部，其连接所述中央部和所述外周部；多个变形传感器，其设置在所述连接部的主表面上；以及多个参考电阻，其设置在所述中央部的主表面上，与所述多个变形传感器共同构成桥接电路。

发明效果

本发明可以提供一种能够降低变形传感器和参考电阻之间产生的温度误差和外部噪音的影响，且可以提高检测精度的应变体，以及具有该应变体的力传感器。

附图说明

图1是表示第一实施方式的应变体的整体构成的立体图。

图2是表示图1的应变体的平面构成的平面图。

图3是详细表示从图1的应变体的主表面侧观察的中央部和连接部的平面图。

图4是包含图3的变形传感器的连接部的剖面图。

图5是用于说明第一实施方式的应变体的桥接电路的图表。

图6是用于说明第一实施方式的应变体的制造方法的流程图。

图7是表示第二实施方式的应变体的整体构成的平面图。

图8是表示第三实施方式的应变体的整体构成的立体图。

图9是表示图8的应变体的平面结构的平面图。

图10是表示具有第一实施方式的应变体的力传感器的外观的立体图。

图11是表示图10的力传感器的分解立体图。