[发明专利]半导体多层结构有效
申请号: | 201780094957.9 | 申请日: | 2017-09-18 |
公开(公告)号: | CN111095578B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | A·阿霍;R·伊莎霍;A·图基艾嫩;M·D·圭那;J·夫赫利艾拉 | 申请(专利权)人: | 坦佩雷大学基金会 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L29/26 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 蔡文清;沙永生 |
地址: | 芬兰*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 多层 结构 | ||
1.半导体器件(1,10,20,30,40,50,60),其包括:
基材(5,7,17),其包括由Ge制成的层(2,24);以及
半导体多层结构(3,4,9,11,19,23),其包括至少一个第一层和至少一个第二层:
至少一个第一层由选自下组的材料构成:
AlxGa1-xAs,其中x为约0.6,
AlxGa1-x-yInyAs,其中0≤x≤0.6且0≤y≤0.02,
AlxGa1-x-yInyAs1-zPz、AlxGa1-x-yInyAs1-zNz、和AlxGa1-x-yInyAs1-z-cNzPc,其中0≤x≤1、0≤y≤1、0≤z≤0.3、且0≤c≤1,
AlxGa1-x-yInyAs1-z-cNzSbc,其中0≤x≤1、0≤y≤1、0≤z≤0.3、且0≤c≤0.7,以及
AlxGa1-x-yInyAs1-z-cPzSbc,其中0≤x≤1、0≤y≤1、0≤z≤1和0≤c≤0.3,其中,对于任意材料,所有III族元素含量之和等于1,所有V族元素含量之和等于1;并且
至少一个第二层由选自下组的材料构成:GaInAsNSb、GaInAsN、AlGaInAsNSb、AlGaInAsN、GaAs、GaInAs、GaInAsSb、GaInNSb、GaInP、GaInPNSb、GaInPSb、GaInPN、AlInP、AlInPNSb、AlInPN、AlInPSb、AlGaInP、AlGaInPNSb、AlGaInPN、AlGaInPSb、GaInAsP、GaInAsPNSb、GaInAsPN、GaInAsPSb、GaAsP、GaAsPNSb、GaAsPN、GaAsPSb、AlGaInAs和AlGaAs,其中,对于任意材料,所有III族元素含量之和等于1,所有V族元素含量之和等于1,
其中,半导体多层结构(3,4,9,11)生长于基材(5,7,17)的Ge层(2,24)上。
2.如前述权利要求所述的半导体器件(1,10,20,30,40,50),其特征在于,半导体多层结构是包括如下所述的层的光电子半导体多层结构(3,4,9,11,23):
多个形成无源层的第一层;以及
多个形成有源层的第二层。
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