[发明专利]自动光学检测设备的校准方法及自动修复系统

说明书

本发明涉及一种自动光学检测设备的校准方法及自动修复系统，所述自动光学检测设备的校准方法，包括：获取修复设备已修复的基板制程缺陷的偏移信息；偏移信息包括基板制程缺陷的坐标与修复设备的第一镜头的中心的坐标之间的偏移量；统计偏移信息，得到平均偏移量；根据平均偏移量校准自动光学检测设备中的第二镜头；第二镜头用于采集基板制程缺陷的坐标，第一镜头用于根据基板制程缺陷的坐标修复基板制程缺陷。根据本发明的实施例，可以提高校准精度，缩短校准确认时间。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种自动光学检测设备的校准方法及自动修复系统。

背景技术

伴随着大尺寸TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)的推广与普及，Glass母板(基板)逐步增大，为了更精准地检测出各制程缺陷，自动光学检测设备AOI(Automatic Optic Inspection，自动光学检测)通常采用多镜头分区域对Glass母板进行检查。由于AOI输出的缺陷信息是由多个镜头检测出来的，不同镜头的安装调试存在位置误差，造成各个镜头输出缺陷坐标与标准坐标值可能都存在差异，为了保证修复设备能够将AOI检测出的缺陷进行精准修复，需校准AOI的镜头位置，保证AOI的镜头检测出的缺陷在修复设备的镜头下可见。

在实际生产中，由于AOI的机械震动，或装机时的机械误差，导致AOI的各镜头位置发生偏移，降低了AOI输出缺陷位置的精度。当AOI的镜头位置偏离严重时，检测出缺陷的修复设备的镜头可能不可见，会直接影响缺陷修复。为了避免AOI输出缺陷坐标的精度降低，需定期对AOI的镜头进行补正。

相关技术中，AOI的镜头位置的补正方法为：选用制作有Mark(标记)的标准片，通过对比AOI检测出的Mark坐标与Mark的实际坐标进行比对，然后根据比对结果对AOI各镜头进行校准。但该方法不能保证相邻两次镜头位置确认期间，当AOI某个镜头出现偏移量较大，导致Auto Repair(自动修复设备)的镜头无法看到缺陷而不进行修复，降低产品良率。也就是，该方法不能绝对保证AOI各镜头检出缺陷在Auto Repair镜头中可见，校准精度低，且需对AOI的镜头反复调试，校准确认时间长。

发明内容

本发明提供自动光学检测设备的校准方法及自动修复系统，以解决相关技术中的不足。

根据本发明实施例的第一方面，提供一种自动光学检测设备的校准方法，包括：

获取修复设备已修复的基板制程缺陷的偏移信息；所述偏移信息包括所述基板制程缺陷的坐标与所述修复设备的第一镜头的中心的坐标之间的偏移量；

统计所述偏移信息，得到平均偏移量；

根据所述平均偏移量校准所述自动光学检测设备中的第二镜头；所述第二镜头用于采集基板制程缺陷的坐标，所述第一镜头用于根据所述基板制程缺陷的坐标修复所述基板制程缺陷。

在一个实施例中，所述根据所述平均偏移量校准所述自动光学检测设备中的所述第二镜头，包括：

当所述平均偏移量的模小于或等于指定的校准极限值时，根据所述平均偏移量校准所述第二镜头采集的基板制程缺陷的坐标；

当所述平均偏移量的模大于指定的校准极限值时，输出提示信息；所述提示信息用于提示校准所述第二镜头的位置。

在一个实施例中，所述偏移信息中包括偏移量为空的数据；所述偏移量为空的数据指示对应的基板制程缺陷超出所述第一镜头的视野范围；所述方法，还包括：

统计所述偏移信息中偏移量为空的数据的数目；

当所述数目大于预设数目时，确定所述平均偏移量的模大于指定的校准极限值。