[发明专利]合成石英玻璃盖前体、合成石英玻璃盖及其制备方法有效
申请号: | 201810093784.5 | 申请日: | 2018-01-31 |
公开(公告)号: | CN108376673B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 松井晴信;原田大实;竹内正树 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H01L21/56;C03B20/00;C03C3/06 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 何杨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 合成 石英玻璃 盖前体 及其 制备 方法 | ||
1.合成石英玻璃盖前体,包括合成石英玻璃基底和在其一个主表面上的金属膜或金属化合物膜,所述金属膜或金属化合物膜含有65重量%以上的银、1重量%以上的铋和0.5重量%以上的选自磷、锑、锡和铟中的至少一种元素,所述主表面是盖的邻接于容器的表面。
2.如权利要求1所述的盖前体,其中所述金属膜或金属化合物膜形成在所述基底的主表面的外周部分上。
3.如权利要求1所述的盖前体,其中所述金属膜或金属化合物膜具有1至20μm的厚度。
4.如权利要求1所述的盖前体,其中所述金属膜或金属化合物膜具有2nm以下的表面粗糙度Ra。
5.如权利要求1所述的盖前体,其中所述金属膜或金属化合物膜在其表面上具有10μm以下的平坦度。
6.如权利要求1所述的盖前体,其用于光学器件封装。
7.合成石英玻璃盖,包括如权利要求1所述的盖前体和在所述金属膜或金属化合物膜表面上的金属系粘结层。
8.如权利要求7所述的盖,其中所述金属系粘结层含有选自金、银、铜、钯、锡、钨和碲中的至少一种元素。
9.用于制备权利要求1至6中任一项所述的合成石英玻璃盖前体的方法,包括如下步骤:
用金属糊涂覆合成石英玻璃基底的一个主表面,所述金属糊包括在分散介质中的具有5nm以上且80nm以下的一次粒径并且包括65重量%以上的银、1重量%以上的铋和0.5重量%以上的选自磷、锑、锡、铟中的至少一种元素的金属颗粒;和
加热和烧结所述金属糊涂层,以在所述基底上形成所述金属膜或金属化合物膜。
10.如权利要求9所述的方法,其中所述金属糊具有65重量%至95重量%的银含量。
11.由权利要求9的方法所制备的合成石英玻璃盖前体来制备合成石英玻璃盖的方法,
所述方法包括用另一金属糊涂覆所述金属膜或金属化合物膜的表面以在其上形成金属系粘结层的步骤。
12.如权利要求11所述的方法,其中所述另一金属糊含有选自金、银、铜、钯、锡、钨和碲中的至少一种元素和分散介质。
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