[发明专利]一种检测消影等级的装置及其控制方法

说明书

本发明公开了一种检测消影等级的装置及其控制方法，该装置，包括：光源，位于光源的光学路径上的光学元件，光谱检测器，以及与光谱检测器电信号连接的控制器；其中，光学元件，用于将光源出射的光线入射至图案区，并将图案区的反射光入射至光谱检测器，以及将光源出射的光线入射至沟道区，并将沟道区的反射光入射至光谱检测器；光谱检测器，用于检测图案区的反射光的光坐标，并将图案区的反射光的光坐标发送至控制器，以及检测沟道区的反射光的光坐标，并将沟道区的反射光的光坐标发送至控制器；控制器，用于根据图案区和沟道区的反射光的光坐标，确定待测基板的消影等级。该装置实现了宏观现象的数据体现，可以准确的得到待测基板的消影等级。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤指一种检测消影等级的装置及其控制方法。

背景技术

随着显示技术的不断发展，显示屏或触摸屏已经广泛应用于人们的生活中，其中，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)具有体积小、功耗低、无辐射等特点，在市场中占据重要地位。有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode，OLED)具有自发光、反应快、视角广、亮度高、色彩艳、轻薄等优点，也已经被广泛应用于市场中。

在显示技术领域中，制作显示面板的过程中经常会用到透明薄膜材料，例如，氧化铟锡(Indium tin oxide，ITO)是制作透明电极最常用的薄膜材料。ITO薄膜的制备过程是通过在一定真空度下，采用磁控溅射工艺将ITO材料沉积在衬底基板的表面形成ITO膜层。由于溅射(Sputter)过程是整面性镀膜，在衬底基板表面无法形成通道，继而需要通过刻蚀(Etch)工艺将ITO膜层刻蚀成多条通道，因而在ITO膜层上形成图案(Pattern)区(有ITO)和刻蚀槽区(无ITO)。

由于ITO膜层的透光率通常为80％～90％，图案区和刻蚀槽区的反射率不一致会导致显示面板表面的纹路在视觉上明显可见。通常采用IM(Index Margin)前消影技术和SION后消影技术尽量减少图案区与刻蚀槽区的差异，但是这两种方法依然无法完全消除基板表面的视觉差异，因此，在制作显示面板的过程中，检测ITO膜层的消影水平，以防止不合格产品的产出至关重要。然而，现有技术中，一般通过人眼比对产出的显示面板与样品的差异，来确定消影水平，这种检测方法主观性较大，检测的准确性较低。

发明内容

本发明实施例提供一种检测消影等级的装置及其控制方法，用以解决现有技术中存在无法准确检测显示面板的消影水平的问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种检测消影等级的装置，包括：光源，位于所述光源的光学路径上的光学元件，光谱检测器，以及与所述光谱检测器电信号连接的控制器；其中，

所述光学元件，用于将所述光源出射的光线入射至待测基板的图案区，并将所述图案区的反射光入射至所述光谱检测器，以及将所述光源出射的光线入射至所述待测基板的沟道区，并将所述沟道区的反射光入射至所述光谱检测器；所述图案区为具有透明材料的区域；

所述光谱检测器，用于检测所述图案区的反射光的光坐标，并将所述图案区的反射光的光坐标发送至所述控制器，以及检测所述沟道区的反射光的光坐标，并将所述沟道区的反射光的光坐标发送至所述控制器；

所述控制器，用于接收所述图案区和所述沟道区的反射光的光坐标，并根据所述图案区和所述沟道区的反射光的光坐标，确定所述待测基板的消影等级。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述检测消影等级的装置中，还包括：图像采集器；

所述光学元件，用于将所述反射光分为第一光束和第二光束，并将所述第一光束入射至所述光谱检测器，以及将所述第二光束入射至所述图像采集器；

所述图像采集器，用于获取所述反射光的反射位置对应的部分所述待测基板的图像。