[发明专利]离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法有效
申请号: | 201810259642.1 | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN108508639B | 公开(公告)日: | 2020-02-11 |
发明(设计)人: | 李昊;潘国辉;汪斌 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G09G3/00 |
代理公司: | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离线 玻璃基板 量测设备 量测 机械手臂 量测机构 旋转机构 方向调整 流片 拾取 改进 配合 | ||
1.一种离线量测设备,用于对玻璃基板进行自动量测,其特征在于,所述离线量测设备包括:量测机构、机械手臂、旋转机构;
所述量测机构用于对所述玻璃基板进行量测,所述量测机构包括:用于放置所述玻璃基板的量测平台、用于对所述玻璃基板进行量测的量测单元和第一夹板;
所述量测平台分为第一量测区域和第二量测区域,所述第一量测区域为竖版玻璃基板区域,所述第二量测区域为横版玻璃基板区域;
所述机械手臂用于拾取和转移所述玻璃基板,所述机械手臂包括:第一机械手臂和第二机械手臂;
所述旋转机构设置于所述量测机构的上方,用于将所述玻璃基板旋转至所需角度,包括:用于旋转所述玻璃基板的旋转单元、用于固定所述玻璃基板的固定单元、支撑单元以及用于接受指令的控制单元;
其中,所述玻璃基板上排布有阵列分布的阵列基板,所述阵列基板包括显示区域和外围电路区域,在对所述玻璃基板进行量测时,所述显示区域对应于操作台方向放置,所述外围电路区域对应于所述机械手臂方向放置。
2.根据权利要求1所述的离线量测设备,其特征在于,所述机械手臂包括分叉,所述第二机械手臂的分叉数大于所述第一机械手臂的分叉数;
当所述玻璃基板的长边面对所述机械手臂时,采用所述第一机械手臂操作所述玻璃基板,当所述玻璃基板的短边面对所述机械手臂时,采用所述第二机械手臂操作所述玻璃基板。
3.根据权利要求1所述的离线量测设备,其特征在于,所述玻璃基板包括:横版背靠背式玻璃基板、竖版背靠背式玻璃基板、横版非背靠背式玻璃基板和竖版非背靠背式玻璃基板。
4.根据权利要求1所述的离线量测设备,其特征在于,所述旋转单元为旋转电机,所述固定单元包括固定所述玻璃基板四边的第二夹板和用于吸附所述玻璃基板的真空吸附器,所述控制单元为PLC控制单元,所述支撑单元为所述旋转机构的框架。
5.一种玻璃基板的离线量测方法,采用权利要求1-4任一项所述的离线量测设备对所述玻璃基板进行量测,其特征在于,所述玻璃基板的离线量测方法包括:
步骤S10、CIM系统根据所述玻璃基板的类型生成所述指令传送给所述量测机构、所述机械手臂和所述旋转机构;
步骤S20、所述机械手臂在接收所述指令后将所述玻璃基板从存储设备中取出并放置在所述旋转机构处,所述旋转机构将所述玻璃基板旋转至目标角度后,再由所述机械手臂将所述玻璃基板转移至所述量测机构上,经过所述机械手臂、所述旋转机构和所述量测机构之间的相互配合,完成所述玻璃基板的量测;
步骤S30、所述机械手臂将所述玻璃基板放置在所述存储设备的指定区域。
6.根据权利要求5所述的玻璃基板的离线量测方法,其特征在于,当所述玻璃基板为竖版非背靠背式玻璃基板时,所述步骤S20的具体操作为:
在接收所述指令后直接将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并放置在所述旋转机构处旋转0°或180°,再将所述玻璃基板转移至所述第一量测区域上,对所述玻璃基板进行量测,直到量测完成后,通过所述旋转机构将所述玻璃基板恢复至原始角度,完成对所述玻璃基板的量测,上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂实现。
7.根据权利要求5所述的玻璃基板的离线量测方法,其特征在于,当所述玻璃基板为横版非背靠背式玻璃基板时,所述步骤S20的具体操作为:
在接收所述指令后将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并放置在所述旋转机构处旋转90°或270°,再将所述玻璃基板转移至所述第二量测区域上,对所述玻璃基板进行量测,直到量测完成后,通过所述旋转机构将所述玻璃基板恢复至原始角度,完成对所述玻璃基板的量测,上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂实现。
8.根据权利要求5所述的玻璃基板的离线量测方法,其特征在于,当所述玻璃基板为背靠背式玻璃基板时,所述背靠背式玻璃基板包括第一阵列基板和第二阵列基板,所述第一阵列基板的方向与所述量测平台对所述第一阵列基板的需求方向相同,所述第二阵列基板的方向与所述量测平台对所述第二阵列基板的需求方向相反。
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