[发明专利]阀装置

权利要求书

1.一种阀装置，其设置在真空室与真空泵之间，使阀体的开度发生变化而控制阀流导，所述阀装置的特征在于包括：

开度检测部，对所述阀体的开度进行检测；以及

控制部，输入有所述真空室的压力值及压力目标值，基于所述压力值与由所述开度检测部检测出的开度，以使所述压力值接近于所述压力目标值的方式，对所述阀体的开度进行控制，

所述控制部根据所述压力值及由所述开度检测部检测的检测开度，进行对所述阀体的开度进行粗调整的打开控制及对所述阀体的开度进行微调整的关闭控制中的任一个控制，

在所述打开控制中，推断预先设定的现在之前的预测对象时间中的压力预测推断值，并基于所述压力预测推断值与压力目标值进行所述粗调整，

在所述关闭控制中，基于所述压力目标值与所述压力值进行所述微调整。

2.根据权利要求1所述的阀装置，其特征在于：

所述控制部基于对应于所述压力目标值的基准开度与所述检测开度之间的大小关系、及所述压力目标值与所述压力值之间的大小关系，进行所述打开控制及所述关闭控制中的开度控制。

3.根据权利要求2所述的阀装置，其特征在于：

所述控制部根据通过由所述基准开度及所述压力目标值表示的目标坐标点的压力坐标轴及开度坐标轴，将由开度坐标及压力坐标表示的开度、压力坐标平面划分为第一象限、第二象限、第三象限及第四象限这四个区域，

根据由所述检测开度及所述压力值表示的坐标点处于从所述第一象限到所述第四象限为止的哪一个象限，使开度控制不同。

4.根据权利要求3所述的阀装置，其特征在于：

在所述打开控制中，根据与所述坐标点的位置对应的第一开度控制模式、第二开度控制模式及第三开度控制模式中的任一个开度控制模式来进行开度控制，

在所述第一开度控制模式中，在所述第一象限中，当所述压力预测推断值超过所述压力目标值时，使所述阀体的开度增加或静止，当所述压力预测推断值为所述压力目标值以下时，使所述阀体的开度减小，在所述第二象限中，使所述阀体的开度增加，在所述第四象限及所述第三象限中，使所述阀体的开度减小，

在所述第二开度控制模式中，在所述第三象限中，当所述压力预测推断值超过所述压力目标值时，使所述阀体的开度增加，当所述压力预测推断值为所述压力目标值以下时，使所述阀体的开度减小或静止，在所述第四象限中，使所述阀体的开度减小，在所述第一象限及所述第二象限中，使所述阀体的开度增加，

在所述第三开度控制模式中，在所述第一象限中，当所述压力预测推断值超过所述压力目标值时，使所述阀体的开度增加或静止，当所述压力预测推断值为所述压力目标值以下时，使所述阀体的开度减小，在所述第三象限中，当所述压力预测推断值超过所述压力目标值时，使所述阀体的开度增加，当所述压力预测推断值为所述压力目标值以下时，使所述阀体的开度减小或静止，在所述第二象限中，使所述阀体的开度增加，在所述第四象限中，使所述阀体的开度减小。

5.根据权利要求3或4所述的阀装置，其特征在于：

所述控制部根据包含所述目标坐标点且通过规定开度阈值及规定压力阈值设定的区域中是否包含所述坐标点，决定进行所述关闭控制及所述打开控制中的哪一个控制。

6.根据权利要求5所述的阀装置，其特征在于：

通过所述规定压力阈值设定的区域是以所述压力目标值为中心的规定压力偏差的范围，

所述控制部根据所述压力值是否处于所述规定压力偏差内，进行所述关闭控制与所述打开控制之间的切换，

在从所述打开控制向所述关闭控制切换的情况下，使所述第一象限及所述第三象限中的所述规定压力偏差小于所述第二象限及所述第四象限中的所述规定压力偏差。

7.根据权利要求3所述的阀装置，其特征在于：

使用假设所述压力值因所述阀体的开度变化而达到所述压力目标值时的目标开度推断值作为所述基准开度。