[发明专利]一种高可靠性平面凸点式封装方法及封装结构在审
申请号: | 201810399646.X | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN108389805A | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 吴奇斌;吴靖宇;范荣定;吴莹莹;吴涛;吕磊;汪阳 | 申请(专利权)人: | 长电科技(滁州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/31;H01L23/49;H01L23/492 |
代理公司: | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人: | 侯晔 |
地址: | 239000 安徽省滁州市经济*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平面凸点式 封装结构 高可靠性 封装 芯片承载底座 正面金属层 承载底座 打线 管脚 基岛 内脚 引脚 半导体封装 背面保护 接触不良 接触效果 金属管脚 金属区域 探针接触 油墨工艺 金属层 塑封体 探测率 油墨层 背面 切割 探测 芯片 保证 | ||
1.一种高可靠性平面凸点式封装方法,使用平面凸点式封装方法,其特征在于:在基板背面蚀刻步骤后在背面蚀刻的多余的金属区域设置油墨层(7),油墨层(7)覆盖在金属区域表面以及金属基板(1)引脚侧面,金属基板(1)引脚凸出于油墨层(7)。
2.根据权利要求1所述的一种高可靠性平面凸点式封装方法,其特征在于:设置油墨层的步骤在于:
A、在基板背面刷一层油墨;
B、经过一次烘烤后,一次固化油墨;
C、固化后的油墨通过曝光、显影将金属管脚显出;
D、二次烘烤,进行二次固化油墨,油墨收缩,引脚凸出于油墨层(7)。
3.根据权利要求2所述的一种高可靠性平面凸点式封装方法,其特征在于:所述的油墨为液态光成像阻焊油墨。
4.根据权利要求2所述的一种高可靠性平面凸点式封装方法,其特征在于:在步骤A还包括将刷油墨后的基板放在真空箱中,进行抽真空。
5.根据权利要求2所述的一种高可靠性平面凸点式封装方法,其特征在于:一次烘烤温度在75±5℃,时间为50±10min,二次烘烤温度在165±5℃,时间为6h。
6.根据权利要求1-5任一所述的一种高可靠性平面凸点式封装方法,整体步骤如下:
1)取一块金属基板(1);
2)在金属基板(1)正面、背面各自贴上干膜层;
3)将金属基板(1)正面的部分干膜层去除,在金属基板(1)上准备形成基岛、连筋、引脚;
4)在金属基板(1)上准备形成的基岛、连筋、引脚区域的正面镀上正面金属层(2),连筋处镀银;
5)去除金属基板(1)上层余下的干膜层,露出蚀刻区;
6)对步骤5去除的干膜区域进行半蚀刻,在金属基板(1)上形成凹陷的半蚀刻区域,同时相对形成基岛及引脚;
7)在金属基板(1)的基岛正面金属层(2)上进行芯片(3)植入,形成集成电路或分立元件的列阵式集合体半成品;
8)对已经完成芯片(3)植入作业的半成品进行打线,形成引线(4);
9)包封,后固化,形成包封(5);
10)在金属基板背(1)面再次贴干膜层;
11)去除金属基板(1)半蚀刻区域背面的干膜层,以露出后续需要蚀刻的区域;
12)在金属基板(1)背面对不被干膜覆盖的区域进行全蚀刻,使基岛和引脚凸出塑封体表面;
13)在基板背面蚀刻步骤后在背面蚀刻的多余的金属区域设置油墨层;
14)在凸出的基岛、引脚电镀金属,形成管脚金属层(8);
15)将塑封体正面贴上UV膜后进行切割作业,产品分离。
7.一种高可靠性平面凸点式封装结构,其特征在于:封装结构的基板背面蚀刻除管脚外的区域,设置有油墨层(7),油墨层(7)覆盖在金属区域表面以及金属基板(1)引脚侧面,金属基板(1)引脚凸出于油墨层(7)。
8.根据权利要求7所述的一种高可靠性平面凸点式封装结构,其特征在于:包括芯片承载底座、打线内脚承载底座、芯片(3)、引线(4)以及塑封体,所述的芯片承载底座包括基岛以及基岛的正面金属层(2),所述的打线内脚承载底座包括引脚以及引脚的正面金属层(3),连筋上有金属层(2),芯片承载底座的正面金属层(2)上植入芯片(3),芯片(3)正面和正面金属层(2)分别与金属线两端连接制成封装结构半成品,封装结构半成品正面以及外周边缘形成包封(5),并使基岛和引脚的背面凸出于塑封体表面,凸出背面的基岛、引脚表面镀有管脚金属层(8),油墨层(7)覆盖在金属区域表面以及金属基板(1)引脚侧面,金属基板(1)引脚凸出于油墨层(7)。
9.根据权利要求8所述的一种高可靠性平面凸点式封装结构,其特征在于:基岛及引脚的正面金属层(2)为金银、铜、镍或镍钯。
10.根据权利要求8所述的一种高可靠性平面凸点式封装结构,其特征在于:芯片(3)与引脚打线连接的引线(4)为金线、银线、铜线或铝线。
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