[发明专利]一种高可靠性平面凸点式封装方法及封装结构在审
申请号: | 201810399646.X | 申请日: | 2018-04-28 |
公开(公告)号: | CN108389805A | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 吴奇斌;吴靖宇;范荣定;吴莹莹;吴涛;吕磊;汪阳 | 申请(专利权)人: | 长电科技(滁州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/31;H01L23/49;H01L23/492 |
代理公司: | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人: | 侯晔 |
地址: | 239000 安徽省滁州市经济*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平面凸点式 封装结构 高可靠性 封装 芯片承载底座 正面金属层 承载底座 打线 管脚 基岛 内脚 引脚 半导体封装 背面保护 接触不良 接触效果 金属管脚 金属区域 探针接触 油墨工艺 金属层 塑封体 探测率 油墨层 背面 切割 探测 芯片 保证 | ||
本发明公开了一种高可靠性平面凸点式封装方法及封装结构,属于半导体封装领域。针对现有技术中存在的背面保护工艺中,简单的刷油墨工艺无法保证金属管脚的有效抓胶面积,切割后,管脚的面积小,探针接触效果差的问题,本发明提供一种高可靠性平面凸点式封装方法及封装结构。包括芯片承载底座、打线内脚承载底座、芯片、引线以及塑封体,所述的芯片承载底座包括基岛以及基岛的正面金属层,所述的打线内脚承载底座包括引脚以及引脚的正面金属层,除了管脚金属层的背面多余金属区域为油墨层。它可以实现有抓胶效果好,接触不良率低的效果,且在成品后的探测时候,接触效果好,探测率高。
技术领域
本发明涉及半导体封装领域,更具体地说,涉及一种高可靠性平面凸点式封装方法及封装结构。
背景技术
数十年来,集成电路封装技术一直追随着集成电路的发展而发展,人们一直在小体积与高性能之间寻求最好的平衡点。从70年代的DIP插入式封装到SOP表面贴片式封装,再到80年代的QFP扁平式贴片封装,芯片的封装体积一直朝着小型化发展,结构性能也在不断地提升。到了90年代,QFN四面扁平无脚式封装的出现,是在QFP的基础上将原先在封装体周围的输出脚收放到封装体底部,从而在贴片作业时大大减少了所占的空间。但是QFN常有内脚焊点不稳、溢料、返工频率高、封装良率偏低等问题。FBP平面凸点式封装则是为改善QFN生产过程中的诸多问题而独立研发出来的新型封装形式。
QFN封装有效地利用了引线脚的封装空间,从而大幅度地提高了封装效率。但目前大部分半导体封装厂商QFN的制造过程中都面临一些工艺困惑,原因是现有QFN工艺为避免包封时塑封树脂溢到引线脚,一般采用在引线框(L/F)背面加贴耐高温膜的方法来阻断包封时树脂的随意流动,而这一方法在解决上述问题的同时却导致了另外一系列的工艺问题,FBP的外形与QFN相近,脚位也可以一一对应,其外观上区别于QFN的主要不同点在于:传统QFN的引线脚与塑胶底部在同一平面,而FBP的引线脚则凸出于塑胶底部,从而使SMT时焊料与IC的结合面由平面变为立体,因此在PCB的装配工艺中有效地减少了虚焊的可能性;同时目前FBP采用的是镀金工艺,在实现无铅化的同时不用抬高温度就能实现可靠的焊接,从而减少了电路板组装厂的相关困扰,使电路板的可靠性更高。
FBP工艺流程中的关键工艺在于贴膜、曝光和蚀刻,也是FBP工艺与传统IC封装工艺最大的不同点,其他工序则与传统IC封装工艺大同小异。由于FBP的外引线脚是通过在金属平面上蚀刻而成,因此外引线角的共面性相当一致;而由于FBP的L/F结构发生了变化,我们知道FBP框架的底面有一层金属连结在一起的,这样就保证了FBP框架每个引线脚都有足够的机械强度,因此每个引线脚可以设计在整个封装面的任意部位,但是外引线脚是通过在金属平面上蚀刻而成,导致了现有的FBP封装金属裸露在SMT上的时候,附属管脚与芯片基岛的之间距离很近,有短路的风险,切割后,管脚的面积小,管脚的抓胶能力弱。现有技术中对于管脚短路也进行了相应的设计。现有专利针对背面的管脚上刷油墨进行相应的屏蔽和防止短路。
中国专利申请,申请号201410203916.7,公开日2014年9月10日,一种基于AAQFN的二次曝光和塑封技术的封装件及其制作工艺,所述封装件主要由引线框架、下芯片、上芯片、胶膜、键合线、塑封体、绿油和植球组成。所述引线框架上焊接有下芯片,下芯片通过胶膜与上芯片粘接,键合线连接上芯片和引线框架,塑封体包围了引线框架的部分、下芯片、上芯片、胶膜和键合线,所述引线框架间填充有绿油,引线框架连接有植球。所述制作工艺主要流程如下:晶圆减薄→划片→上芯→压焊→塑封→后固化→印刷感光油墨→曝光显影→引脚分离→去膜→刷绿油→曝光显影→植球。所述封装件和制作工艺显著提高了封装件的可靠性,且此法易行,生产效率高。但此方案针对于如何对油墨层进行设计未做详细说明。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造