[发明专利]工艺腔室、生产设备以及工艺控制方法

权利要求书

1.一种工艺腔室，包括腔体与至少一个观察窗，其特征在于，所述工艺腔室还包括截止组件；

所述截止组件用于使得所述至少一个观察窗与所述腔体内部阻隔或连通。

2.根据权利要求1所述的工艺腔室，其特征在于，所述工艺腔室还包括：

位置传感器发送端，通过第一观察窗与所述腔体连接，用于将测试信号通过所述第一观察窗发送至所述腔体内部；

位置传感器接收端，通过第二观察窗与所述腔体连接，用于通过所述第二观察窗接收在所述腔体内部传输的所述测试信号。

3.根据权利要求2所述的工艺腔室，其特征在于，所述截止组件包括第一真空挡板直通阀和第二真空挡板直通阀；

所述第一真空挡板直通阀，位于所述第一观察窗与所述腔体之间；通过所述第一真空挡板直通阀的关闭或开启，使得所述第一观察窗与所述腔体内部阻隔或连通；

所述第二真空挡板直通阀，位于所述第二观察窗与所述腔体之间；通过所述第二真空挡板直通阀的关闭或开启，使得所述第二观察窗与所述腔体内部阻隔或连通。

4.根据权利要求1或2所述的工艺腔室，其特征在于，所述截止组件包括遮挡部；

所述遮挡部完全覆盖所述观察窗；

通过插入或移除所述遮挡部，使得所述观察窗与所述腔体内部阻隔或连通。

5.根据权利要求1或2所述的工艺腔室，其特征在于，所述截止组件包括：

操控部，用于通过控制连接杆移动截止帽的位置；

截止帽，用于根据所述操控部的控制进行移动，使得所述观察窗与所述腔体内部阻隔或连通；

连接杆，连接所述截止帽和所述操控部。

6.根据权利要求5任意一项权利要求所述的工艺腔室，其特征在于，所述截止组件包括：

延伸件，所述延伸件设置有通孔；

所述延伸件位于所述腔体内壁上，所述通孔的第一端与所述观察窗对应连接，所述通孔的第二端朝向所述腔体的内部；

所述截止帽，用于根据所述操控部的控制移动至完全覆盖所述通孔的第二端的位置，使得所述观察窗与所述腔体内部阻隔。

7.一种生产设备，其特征在于，所述生产设备包括权利要求1至6任意一项权利要求所述的工艺腔室。

8.一种工艺控制方法，其特征在于，所述方法应用于工艺腔室，所述工艺腔室包括腔体，通过第一观察窗与所述腔体连接的位置传感器发送端，通过第二观察窗与所述腔体连接的位置传感器接收端，以及截止组件；所述方法包括：

控制所述位置传感器发送端发送测试信号；

控制所述位置传感器接收端接收所述测试信号；

根据所述位置传感器接收端对所述测试信号的接收结果控制所述截止组件执行阻隔操作或连通操作，所述阻隔操作用于使得所述第一观察窗或所述第二观察窗与所述腔体内部阻隔，所述连通操作用于使得所述第一观察窗或所述第二观察窗与所述腔体内部连通。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述根据所述位置传感器接收端对所述测试信号的接收结果控制所述截止组件执行阻隔操作或连通操作包括：

若所述位置传感器接收端对所述测试信号的接收结果指示所述腔体内部预设位置存在待处理物体，控制所述截止组件执行所述阻隔操作。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述根据所述位置传感器接收端对所述测试信号的接收结果控制所述截止组件执行阻隔操作或连通操作包括：

若所述位置传感器接收端对所述测试信号的接收结果指示所述腔体内部预设位置不存在待处理物体，控制所述截止组件执行所述连通操作。