[发明专利]一种工作频率可调的非制冷型太赫兹探测器在审
| 申请号： | 201810598248.0 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108831988A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 潘晓航;沈宏;郝加明;王建禄;孟祥建;戴宁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01L37/02 | 分类号： | H01L37/02 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太赫兹探测器 工作频率可调 金属微结构 介质腔 非制冷太赫兹探测器 金属薄膜层 柔性衬底层 太赫兹信号 波长可调 非制冷型 金属结构 绝热性能 探测频率 吸收材料 性能优势 可弯曲 匹配层 衬底 偏振 制备 制冷 探测 金属 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种工作频率可调的非制冷太赫兹探测器，包括金属微结构(1)、介质腔层(2)、匹配层(3)、金属薄膜层(4)和柔性衬底层(5)，其特征在于：
器件的结构为：自上而下依次是金属微结构(1)、介质腔层(2)、匹配层(3)、金属薄膜层(4)、柔性衬底层(5)；或者是金属微结构(1)、介质腔层(2)、金属薄膜层(4)、柔性衬底层(5)；金属微结构(1)兼做上电极，金属薄膜层(4)用作下电极；
所述的金属微结构(1)的材料是金、银、铜、铝、钨、钽、或铼，微结构的形状是条形光栅、圆形孔、方形孔、多边形或十字形，厚度为30-50nm；
所述的介质腔层(2)是聚偏氟乙烯、聚偏氟乙烯二元聚合物、聚偏氟乙烯三元聚合物、钛酸锶钡、锆钛酸铅或氧化锌薄膜，介质腔层的厚度利用时域有限差分方法、边界元或有限元方法通过仿真设计确定；
所述的匹配层(3)是铬、钛或镍层，厚度为5-10nm；
所述的金属薄膜层(4)的材料是金、银、铜、铝、钨、钽、或铼，其厚度大于辐射源向金属内入射的穿透深度，为100-150nm；
所述的柔性衬底层(5)是无粘性的聚酰亚胺薄膜，厚度为5-10μm。
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