[发明专利]一种抗紫外线镀Cu/Al2O3纳米多层薄膜的汽车贴膜及制备方法在审
| 申请号： | 201810784097.8 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN108998762A | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 余兴亮 | 申请（专利权）人： | 海安浩驰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 南霆 |
| 地址： | 226600 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单层 汽车贴膜 多层复合薄膜 多层薄膜 抗紫外线 制备 薄膜 可见光透过率 紫外线反射率 超晶格结构 磁控溅射法 薄膜材料 隔热贴膜 厚度计算 交替叠加 交替周期 结构通式 交替层 正整数 隔热 式中 雾度 汽车 | ||
1.一种抗紫外线镀Cu/Al2O3纳米多层薄膜的汽车贴膜，其特征在于，包括二氧化硅薄膜材料和单质铝薄膜材料，二者通过交替叠加形成类超晶格结构。
2.根据权利要求1所述的一种抗紫外线镀Cu/Al2O3纳米多层薄膜的汽车贴膜，其特征在于，所述Cu/Al2O3多层复合薄膜材料的结构通式为[Cu(a)nm/Al2O3(b)nm]x，式中a、b分别表示所述的单层Cu薄膜和单层Al2O3薄膜的厚度，50≤a≤90nm，10≤b≤50nm，x表示单层Al2O3和单层Sb薄膜的交替周期数或者交替层数，并且x为任一正整数。
3.根据权利要求1或2所述的一种抗紫外线镀Cu/Al2O3纳米多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，通过磁控溅射法将Al2O3薄膜材料和单质Cu薄膜材料进行纳米量级复合，形成具有多层结构的纳米复合薄膜材料。
4.根据权利要求3所述的一种抗紫外线镀Cu/Al2O3纳米多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射法采用的衬底为PET材料；溅射靶材为Al2O3和Cu；溅射气体为氩气。
5.根据权利要求4所述的一种抗紫外线镀Cu/Al2O3纳米多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，所述溅射靶材为纯度达到99.999％的Al2O3和原子百分比纯度达到99.999％的Cu；所述溅射气体为体积百分比纯度达到99.999％的氩气。
6.根据权利要求3所述的一种抗紫外线镀Cu/Al2O3纳米多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射法的本底真空度不大于3×10-4Pa；溅射功率为245-255W；氩气气体流量为75-85SCCM，溅射气压为0.65-0.75Pa。
7.根据权利要求6所述的一种抗紫外线镀Cu/Al2O3纳米多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射法的溅射功率为250W；氩气气体流量为80sccm；溅射气压为0.70Pa。
8.根据权利要求3所述的一种抗紫外线镀Cu/Al2O3纳米多层薄膜的汽车贴膜的制备方法，其特征在于，
所述磁控溅射法具体包括如下步骤：
1)清洗PET衬底；
2)装好溅射靶材；设定溅射功率、溅射氩气流量及溅射气压；
3)采用射频溅射程序制备Cu/Al2O3多层复合薄膜材料。
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