[发明专利]封装结构及其形成方法有效
申请号: | 201810796944.2 | 申请日: | 2018-07-19 |
公开(公告)号: | CN108962766B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 石磊;李骏 | 申请(专利权)人: | 通富微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/52;H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 徐文欣;吴敏 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 结构 及其 形成 方法 | ||
1.一种封装结构的形成方法,其特征在于,包括:
提供基板,所述基板表面具有粘合层;
在所述粘合层表面形成改善层,所述改善层内具有开口,所述开口底部暴露出粘合层表面;
提供芯片,所述芯片包括非功能面;
贴装芯片,使所述非功能面与开口底部的粘合层贴合;
其中,所述改善层的热膨胀系数,与粘合层的热膨胀系数之间的差值落在预设范围之内,所述预设范围为:-50~50,使得所述改善层和粘合层之间不易发生相对位移;
所述改善层和开口的形成方法包括:在所述粘合层表面形成改善膜;对所述改善膜进行曝光显影,形成所述改善层,所述改善层内具有开口;所述改善膜的材料包括光刻胶。
2.如权利要求1所述的封装结构的形成方法,其特征在于,所述芯片包括与非功能面相对的功能面;所述芯片的功能面低于或者齐平于改善层表面;或者,所述芯片的功能面高于改善层表面。
3.如权利要求1所述的封装结构的形成方法,其特征在于,所述粘合层包括:紫外粘合胶、丙烯酸压敏胶或者环氧树脂压敏胶。
4.如权利要求1所述的封装结构的形成方法,其特征在于,贴装所述芯片之后,还包括:在所述改善层顶部、以及芯片的侧壁和功能面上形成塑封层;对所述塑封层进行减薄处理,直至暴露出功能面;在所述功能面上形成布线层和位于布线层表面的钝化层,所述钝化层内具有暴露出布线层顶部的焊料开口;在所述焊料开口内形成焊球;形成所述焊球之后,去除所述粘合层和基板,暴露出芯片的非功能面和改善层的表面;去除所述粘合层和基板之后,进行切割处理,形成芯片结构。
5.如权利要求4所述的封装结构的形成方法,其特征在于,所述芯片结构不包括改善层;或者,所述芯片结构包括部分改善层。
6.如权利要求4所述的封装结构的形成方法,其特征在于,去除所述粘合层和基板之后,进行切割处理之前,还包括:去除所述改善层。
7.一种封装结构,其特征在于,包括:
基板,所述基板表面具有粘合层;
位于所述粘合层表面的改善层,所述改善层内具有开口,所述开口底部暴露出粘合层表面;
位于所述开口内的芯片,所述芯片包括非功能面,所述非功能面与开口底部的粘合层贴合;
其中,所述改善层的热膨胀系数,与粘合层的热膨胀系数之间的差值落在预设范围之内,所述预设范围为:-50~50,使得所述改善层和粘合层之间不易发生相对位移;
所述改善层的材料包括光刻胶。
8.如权利要求7所述的封装结构,其特征在于,所述粘合层包括:紫外粘合胶、丙烯酸压敏胶或者环氧树脂压敏胶。
9.如权利要求7所述的封装结构,其特征在于,所述芯片包括与非功能面相对的功能面;所述芯片的功能面齐平于或者低于改善层表面;或者,所述芯片的功能面高于改善层表面。
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