[发明专利]一种RPD用多元导电氧化物材料及其制备方法

权利要求书

1.一种RPD用多元导电氧化物材料，其特征在于：包括以下成分：

氧化铟96.5-97.4wt％，氧化钨2.5wt％，第三种氧化物0.1-1.0wt％；

所述第三种氧化物为氧化铝、氧化镓和氧化锡中的任意一种；

所述的RPD用多元导电氧化物材料的制备方法，包括如下步骤：

S1、按照上述配方分别称取适量的氧化铟、氧化钨和第三种氧化物，并以氧化物混合物的重量为基数，分别加入68wt％的氧化锆球、30wt％的纯水和2wt％的分散剂；

S2、对S1步骤中的各物质进行混合后充分研磨，研磨的时间为8-24h；

S3、将研磨得到的浆料灌入多孔性模具中进行吸水干燥处理，得到混合粉末；

S4、将上述混合粉末分散后进行烧结处理，烧结的温度为1100-1400℃，烧结的时间为3-24h；

S5、以烧结后的粉末的重量为基数，分别加入68wt％的氧化锆球、30wt％的纯水和2wt％的分散剂，混合后进行第二次研磨，研磨时间为8-24h；

S6、将研磨得到的浆料灌入成型模具中，经过24h的干燥后脱膜形成多元氧化物混合的低密度胚体；

S7、将上述胚体在1100-1400℃的温度条件下烧结6h后形成RPD用的镀膜材料的胚体；

S8、将烧结得到的胚体经过切割与表面研磨后得到多元导电氧化物块材；

S9、把上述多元导电氧化物块材放入RPD设备的坩埚中，以玻璃为样品基板，将蒸镀腔体的压力调节至0.7×10^-5-0.9×10^-5torr后，透过节流阀通入工作气体，控制蒸镀腔体的工作压力为2×10^-3torr，启动电源进行薄膜镀制，制得多元导电氧化物材料。

2.根据权利要求1所述的一种RPD用多元导电氧化物材料，其特征在于：所述分散剂为聚羧酸钠盐型分散剂。

3.根据权利要求1所述的一种RPD用多元导电氧化物材料，其特征在于：S6步骤中所述的成型模具的大小为：直径40mm，高50mm。

4.根据权利要求1所述的一种RPD用多元导电氧化物材料，其特征在于：S6步骤中的所述低密度胚体的密度为理论密度的55％。

5.根据权利要求1所述的一种RPD用多元导电氧化物材料，其特征在于：S7步骤中所得到的胚体密度为理论密度的70-90％。

6.根据权利要求1所述的一种RPD用多元导电氧化物材料，其特征在于：S8步骤中所得到的多元导电氧化物块材的大小为：直径30mm，高40mm。

7.根据权利要求1所述的一种RPD用多元导电氧化物材料，其特征在于：S9步骤中的所述工作气体的流量为200-300sccm。

8.根据权利要求1所述的一种RPD用多元导电氧化物材料，其特征在于：S9步骤中的所述工作气体为氩气和氧气的混合物。