[发明专利]一种二硫化钼薄膜及其制备方法和制备系统

权利要求书

1.一种二硫化钼薄膜的制备方法，其特征在于，所述二硫化钼薄膜的制备方法包括以下步骤：

步骤一，视频监控模块、温度检测模块、密封检测模块将监控视频和检测的数据发送给单片机控制模块；单片机控制模块接收视频监控模块的视频压缩感知模型；

所述视频压缩感知模型为：

x_t+1＝Ax_t+η_t；

式中，每帧测量的总次数为为动态测量次数，为静态测量次数，动态量观测矩阵和常量观测矩阵为动态测量值，为测量值常项，测量结果序列z_t和观测矩阵Φ_t，首先，通过测量值常项估计状态序列然后再用动态测量值和状态序列去计算滤波器组C；η_t为系统误差；A∈R^d×d是状态转移矩阵；y_t是t时刻的视频帧，z_t是t时刻的观测值；

步骤二，检测正常时，单片机控制模块启动抽气模块将制备容器腔体本底真空抽至1×10^-3Pa以下；接着采用热传导方程的加热模块将制备容器加热温度为300～600℃；

所述热传导方程为：

其中，k为热传导系数，c为比热容，ρ为密度，u为温度，t为时间，a为导温系数，x，y，z是热量传播的路径；存在热源，其强度为F(x，y，z，t)，相应的热传导方程为：

其中，

步骤三，通过调整模块调节钼金属蒸发的电子束流大小、硫粉末蒸发的温度以及生长时间，获得均匀的、层数可控的二硫化钼薄膜；通过冷却模块将制备容器冷却到室温；

步骤四，通过时间序列自回归模型检查数据异常，通过报警模块发出报警声，通过工作人员进行修整；

所述时间序列自回归模型对状态数据通过一阶AR模型拟合，公式如下：

式中，x_t为在线监测数据的时间序列，e_t为正态分布序列，e_t～N(μ_e，λ²)，x_t服从N(μ，σ²)的正态分布，其中μ和σ满足：

μ＝μ_e/(1-α)

对于每个在线监测状态量，正常状态下都不应超过相应的限值，因此假设对所有的t，x_t都属于区间[a，b]，a≤x_t≤b：

对所有a≤x_t+k≤b推导：

a-α^kx_t≤e_t+k+αe_t+k-1+…+α^k-1e_t+1≤b-α^kx_t；

步骤五，通过显示模块显示监控视频、温度检测数据、密封性检测数据，保持映射前后各像素亮度与其周围局部适应亮度比值不变；

所述保持映射前后各像素亮度与其周围局部适应亮度比值不变用以计算原高动态范围图像各像素局部适应性亮度的滤波器及其窗口大小是依据人眼视觉系统而选取的，显示图像各像素的局部适应性亮度是通过识别阂值亮度值映射曲线映射原高动态范围图像各像素的局部适应性亮度所得：

其中，L_d(x，y)表示映射后图像各像素值的亮度值，L(x，y)表示高动态范围图像的亮度值；L_a(x，y)表示高动态范围图像的局部适应性亮度；TM(L_a(x，y))表示L_a(x，y)的映射操作，结果为显示图像各像素的局部适应性亮度，TM()为TVI曲线的逆函数。