[发明专利]一种环保型抗静电电子晶圆保护膜及其制备方法

权利要求书

1.一种环保型抗静电电子晶圆保护膜，其特征在于：包括聚氨酯薄膜和胶水层；所述胶水层的原料包括丙烯酸压敏胶，离子复配液体；所述离子复配液体包含含咪唑官能团的离子液体和LiTFSi；所述离子复配液体的加入量为丙烯酸压敏胶的0.5-2质量％；所述含咪唑官能团的离子液体和LiTFSi的质量比为60-65:35-40。

2.根据权利要求1所述的环保型抗静电电子晶圆保护膜，其特征在于：所述含咪唑官能团的离子液体为3-二甲基咪唑阳离子和BF4-阴离子合成制备得到。

3.根据权利要求1所述的环保型抗静电电子晶圆保护膜，其特征在于：所述离子复配液体的加入量为丙烯酸压敏胶的1质量％。

4.根据权利要求1所述的环保型抗静电电子晶圆保护膜，其特征在于：所述含咪唑官能团的离子液体和LiTFSi的质量比为62.5：37.5。

5.一种环保型抗静电电子晶圆保护膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

(1)将丙烯酸压敏胶倒入搅拌器中，在加入0.5-2％可抗静电的含咪唑官能团的离子液体及LiTFSi的复配液体，充分搅拌20分钟进行分散；

(2)将调整好的胶通过刮涂的方式涂布在透明的聚酯薄膜上，涂布厚度15u，经过高温烤箱进行胶粘，出来后用500KG的冷却轮进行贴合，将胶水转移至透明聚丙烯上得到半成品；

(3)将半成品在放入60度老化房进行三天的老化，使产品充分反应。