[发明专利]掩膜框架、支撑板、掩膜框架组件及掩膜版组件

权利要求书

1.一种掩膜版组件，其特征在于，包括：

掩膜框架组件，掩膜框架组件包括掩膜框架和支撑板，所述掩膜框架具有第一开口和凸起，所述凸起设于所述掩膜框架用于与支撑板接触的表面上，且所述凸起用于与支撑板的第二开口卡合，并供掩膜版固定连接其顶面，支撑板用于设在掩膜框架一侧，所述支撑板具有用于与所述掩膜框架上的凸起卡合的第二开口，以及用于与所述掩膜框架的第一开口对应的第三开口；

掩膜版，所述掩膜版设于所述支撑板远离所述掩膜框架的一侧，并固定连接所述掩膜框架的所述凸起，所述掩膜版的图形区域与所述第三开口对应。

2.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述凸起的高度大于等于所述支撑板的厚度。

3.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述凸起有多个，沿所述掩膜框架的两个相对边缘均匀分布；

所述支撑板的所述第二开口有多个，且与所述凸起一一对应。

4.根据权利要求3所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜版有多个，且每个掩膜版为条状，每一个所述掩膜版的两端分别固定连接在所述掩膜框架的两个相对边缘上的两个所述凸起上。

5.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，

所述支撑板的所述第三开口有多个。

6.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜框架由金属材料制成，所述掩膜版为金属掩膜版，所述支撑板由金属材料制成。

7.根据权利要求6所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜版与所述掩膜框架的凸起焊接连接；

所述掩膜框架与所述支撑板在所述凸起和所述第二开口处焊接连接。