[发明专利]一种压电式振动传感器

权利要求书

1.一种压电式振动传感器，其特征在于，包括上盖板结构、定位板、下盖板结构、压电元件和电路机构，所述定位板包括定位板板体和设置在所述定位板板体上的定位通孔，所述上盖板结构包括上盖板板体和由所述上盖板板体环绕形成的第一腔室，所述下盖板结构包括下盖板板体和由所述下盖板板体环绕形成的第二腔室，所述上盖板结构、定位板和下盖板结构依次设置，所述第一腔室、定位通孔和第二腔室连通成一空腔，所述定位板板体上还设有一通道，所述通道一端连通所述空腔，另一端连通环境；所述压电元件一端设置在所述通道中，另一端设置在所述空腔中，所述电路机构设置在所述定位板板体上并位于所述第一腔室内，所述压电元件引出上电极和下电极，并接入所述电路机构。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述上盖板板体包括第一板体和设有一通孔的第二板体，所述第一板体盖合在所述第二板体的通孔上形成所述第一腔室。

3.根据权利要求1或2所述的传感器，其特征在于，所述下盖板板体包括第三板体和设有一通孔的第四板体，所述第三板体盖合在所述第四板体的通孔上形成所述第二腔室。

4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述传感器通过设置上导电层和下导电层引出所述压电元件的上电极和下电极，所述上导电层一端连接所述压电元件，另一端连接所述电路机构，所述下导电层一端连接所述压电元件，另一端连接所述电路机构。

5.根据权利要求4所述的传感器，其特征在于，所述上导电层和下导电层均固定在所述定位板板体上。

6.根据权利要求5所述的传感器，其特征在于，所述上导电层设置在所述定位板板体的上表面，一端连接所述压电元件上表面，另一端连接所述电路机构。

7.根据权利要求5所述的传感器，其特征在于，所述下导电层一部分设置在所述定位板板体下表面，另一部分穿过所述定位板板体并设置在所述定位板板体上表面，所述下导电层位于所述定位板板体下表面的一端连接所述压电元件，位于所述定位板板体上表面的一端连接所述电路机构。

8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述压电元件包括依次设置的上电极层、至少两片陶瓷片、设置在相邻陶瓷片之间的导通层以及下电极层。

9.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述传感器还包括质量块，所述质量块设置在所述压电元件位于所述空腔的一端，所述质量块设置一个或两个。

10.根据权利要求9所述的传感器，其特征在于，所述传感器设置一个所述质量块时，所述质量块设置在所述压电元件的上表面或者下表面；所述传感器设置两个质量块时，一个所述质量块设置在所述压电元件的上表面，另一个所述质量块设置在所述压电元件的下表面。