[发明专利]一种用于半导体存储器老化测试装置的测试平台

说明书

本发明公开了一种用于半导体存储器老化测试装置的测试平台，包括界面工具，设置于上位机的、与界面工具之间具有交互的第一子平台，设置于下位机的、与第一子平台之间具有交互的第二子平台；界面工具作为人机交互接口，用于进行测试代码编辑和编译，供用户编辑测试项流程、输入测试控制指令、进行测试项调试；第一子平台根据从界面工具接收的指令对半导体存储器老化测试装置进行硬件设置；第二子平台根据加载的测试主程序以及在界面工具中编辑的测试项流程控制半导体存储器老化测试装置的测试核心板进行半导体存储器测试；该测试平台可充分发挥硬件装置的测试性能，兼顾了软件开发的可重用性，并提供了多种测试工具，可极大提高测试程序的调试验证效率。

技术领域

本发明属于半导体存储器老化测试技术领域，更具体地，涉及一种用于半导体存储器老化测试装置的测试平台。

背景技术

通过老化测试可以加速半导体存储器件失效让其缺陷单元尽早暴露出来。老化测试系统包括老化测试箱、测试模块、数据处理模块及系统控制模块。从软件工程层面，测试开发工程师首先需要根据用户的测试计划建立测试项目，对程式进行在线检查和调试，确保每个测试项调试通过，然后对整个测试流程进行试运行，并根据用户的需求规范将测试结果与用户原有的结果进行比对，确保测试结果满足用户的需求，最后，产品工程师将验证好的测试程式导入产线，开始进行量产测试。在以上各个环节，测试人员都需要操作相应的软件工具来达成各阶段目标，最终实现产品的量产。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种用于半导体存储器老化测试装置的测试平台，其目的在于为半导体存储器老化测试装置提供程式调试工具以及测试工具。

为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种用于半导体存储器老化测试装置的测试平台，包括界面工具，设置于上位机的、与界面工具之间通过内部通讯协议交互的第一子平台，以及设置于下位机的、与第一子平台之间通过TCP/IP通讯协议交互的第二子平台；

其中，界面工具作为人机交互接口，用于为开发测试程式提供编辑和编译工具以供进行测试代码的编辑和编译生成测试主程序；供用户编辑测试项流程、输入测试控制指令、进行测试项调试；

第一子平台具有与界面工具通信的接口，用于根据从界面工具接收的指令对半导体存储器老化测试装置进行硬件设置；

第二子平台用于根据加载的测试主程序以及在界面工具中编辑的测试项流程控制半导体存储器老化测试装置的测试核心板对半导体存储器进行测试，并读取测试结果反馈给上位机；测试结果发送到界面工具显示给用户；并可通过上位机加载的分析工具进一步对当前批次或所有批次的DUT老化测试数据进行分析。

优选的，上述用于半导体存储器老化测试装置的测试平台，第一子平台还包括硬件抽象层，该硬件抽象层用于模拟下位机返回的数据，使得第一子平台不依赖于下位机和半导体存储器老化测试装置的硬件独立运行，以进行不依赖于设备的离线测试。

优选的，上述用于半导体存储器老化测试装置的测试平台，其界面工具包括并列的测试主界面、编辑界面以及测试工具；

其中，测试主界面用于编辑测试项流程、根据用户的测试控制指令进行测试控制、显示测试监控信息以及测试结果、以及对半导体存储器老化测试装置老化室温度进行监控和控制；

编辑界面用于为开发测试程式提供编辑和编译工具，在编辑界面可以进行代码的编辑和编译，Scramble和Pattern文件的编辑和编译；

测试工具用于测试项调试，包括分配测试资源的Pin脚分配工具，查看和修改测试条件的测试条件监控工具，查看和修改时序信息的时序调试工具，查看波形并检查输入输出信号是否与模板一致的波形绘制工具，扫描多维测试参数用于寻找合格范围以确定合适参数的二维参数扫描测试工具，分步调试DUT测试程序并根据调试结果来修改DUT测试程序的调试工具，根据测试结果显示被测芯片的故障单元数量及所在位置的故障单元显示工具。