[发明专利]靶材的处理方法在审
| 申请号： | 201811621515.8 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111378977A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;罗明浩;寿奉粮 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/12 | 分类号： | C23G1/12;C23G1/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 方法 | ||
1.一种靶材的处理方法，其特征在于，包括：
提供靶材以及清洗液，所述清洗液为化学溶剂；
将所述靶材放入所述清洗液浸泡处理。
2.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述清洗液包括水与腐蚀液，其中，所述腐蚀液为氢氟酸、硝酸的混合。
3.如权利要求2所述的处理方法，其特征在于，所述清洗液中，所述腐蚀液与水的体积比为1:1.3～1:1.5。
4.如权利要求2或3所述的处理方法，其特征在于，所述腐蚀液中氢氟酸与硝酸为分析纯规格，所述腐蚀液中的氢氟酸与硝酸的体积比为1：2.5～1:3.5。
5.如权利要求2所述的处理方法，其特征在于，将所述靶材放入所述清洗液浸泡处理温度为23℃-28℃。
6.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述清洗液为硫酸与水的混合液。
7.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，将所述靶材放入所述清洗液浸泡处理之前，还包括：提供碱液，使用所述碱液对所述靶材表面进行除油处理。
8.如权利要求7所述的处理方法，其特征在于，使用所述碱液对所述靶材表面进行除油处理之后，还包括：将除油处理后的所述靶材用纯水清洗。
9.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，将所述靶材用所述清洗液处理，包括：用所述清洗液对所述靶材进行多次处理。
10.如权利要求9所述的处理方法，其特征在于，将所述靶材用所述腐蚀液处理为浸泡处理，时间为30min-120min。
11.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，将所述靶材用所述腐蚀液处理之后，还包括：使用纯水将所述靶材再次进行清洗处理。
12.如权利要求11所述的处理方法，其特征在于，将所述靶材进行清洗处理之后，还包括：提供干燥箱，将所述靶材进行干燥处理，处理温度为60℃-70℃，时间为20min-25min。
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