[发明专利]一种新型光刻胶显影装置及显影方法

权利要求书

1.一种新型光刻胶显影装置，其特征在于：包括基台固定架(1)、光刻胶板固定架(2)、显影液罐(4)、超纯水罐(5)、缓存槽(8)以及液体流通口(7)；

所述显影液罐(4)、超纯水罐(5)选择性的与所述缓冲槽(8)连通，所述缓冲槽(8)内的液体通过液体流通口(7)与外部连通；

所述液体流通口(7)位于光刻胶固定架(2)上方。

2.根据权利要求1所述的一种新型光刻胶显影装置，其特征在于：所述显影液罐(4)、超纯水罐(5)与所述缓冲槽(8)的连通通路中设置有液体流量阀(6)。

3.根据权利要求1所述的一种新型光刻胶显影装置，其特征在于：所述光刻胶板固定架(2)由第一光刻胶板固定杆(21)、第一固定杆导向架(22)、第二光刻胶板固定杆(23)、第二固定杆导向架(24)、第三光刻胶板固定杆(25)、第三固定杆导向架(26)依次连接后围合成矩形状，所述第一光刻胶板固定杆(21)、第二光刻胶板固定杆(23)、第三光刻胶板固定杆(25)的内侧均开设有固定卡槽，光刻胶板的边缘被接纳在所述固定卡槽内。

4.根据权利要求3所述的一种新型光刻胶显影装置，其特征在于：还包括锁紧机构(3)，所述第一固定杆导向架(22)、第二固定杆导向架(24)、第三固定杆导向架(26)开设有导向槽，所述第一光刻胶板固定杆(21)、第二光刻胶板固定杆(23)、第三光刻胶板固定杆(25)可分别在其连接端的所述第一固定杆导向架(22)、第二固定杆导向架(24)、第三固定杆导向架(26)内的导向槽内滑动，所述锁紧机构(3)可选择性的限制所述第一固定杆导向架(22)、第二固定杆导向架(24)、第三固定杆导向架(26)的滑动。

5.根据权利要求4所述的一种新型光刻胶显影装置，其特征在于：所述锁紧机构(3)包含多个锁紧螺钉(31)，所述第一固定杆导向架(22)、第二固定杆导向架(24)、第三固定杆导向架(26)分别在靠近其两端部且一垂直其轴线的侧壁上开设有螺纹孔，所述锁紧螺钉(31)螺纹连接于所述螺纹孔内，旋紧所述锁紧螺钉(31)可将所述第一光刻胶板固定杆(21)、第二光刻胶板固定杆(23)、第三光刻胶板固定杆(25)顶紧在所述导向槽内。

6.根据权利要求5所述的一种新型光刻胶显影装置，其特征在于：所述第一光刻胶板固定杆(21)和第三光刻胶板固定杆(25)为直角状且二者相邻，所述第二光刻胶板固定杆(23)为条状且位于所述第一光刻胶板固定杆(21)和第三光刻胶板固定杆(25)的相对侧。

7.根据权利要求1所述的一种新型光刻胶显影装置，其特征在于：所述光刻胶板固定架(2)与水平面呈45°倾斜。

8.根据权利要求1所述的一种新型光刻胶显影装置，其特征在于：所述液体流通口(7)为扁平口。

9.基于权利要求1-8所述的一种新型光刻胶显影装置的显影方法，其特征在于：包括以下步骤

S1：将配置好的显影液及超纯水分别装入显影液罐(4)及超纯水罐(5)中待用；

S2：将曝光好的光刻胶板卡于光刻胶板固定架(2)中；

S3：将显影液罐(4)与缓冲槽(8)连通，显影液流至光刻胶板上，显影开始；

S4：显影结束后切断显影液，将超纯水罐(5)与缓冲槽(8)连通，对光刻胶板进行冲洗；

S5：冲洗结束后切断超纯水，将光刻胶板用氮气吹干。