[发明专利]一种阳极钎焊结构

说明书

本发明提供一种阳极钎焊结构，包括有阳极罩和铸靶，所述铸靶本体部靠近延伸部的端面与所述阳极罩的第一定位台阶通过钎焊平封气密结合；所述铸靶本体部靠近延伸部的端部附近的外壁与阳极罩第一定位台阶外沿附近的阳极罩内壁形成有环绕一周的间隙。在该阳极钎焊结构中，钎焊面和焊料都不会直接暴露在真空腔中；在后续的高温烘烤中，焊接面处的焊料在蒸发后会首先扩散至与焊接面相连接的间隙，不会到达真空腔，不会在玻壳上形成蒸散区，保证了玻壳的绝缘性能和耐压性能。此外，本发明提供的阳极钎焊结构装配稳固、有利于抽真空的进行，且服役安全性和服役寿命有保障。

技术领域

本发明涉及真空器件技术领域，更具体地，涉及一种阳极钎焊结构。

背景技术

电真空器件是由多种材料通过焊接方法连接成为结构复杂的构件，由于电真空器件工作要求长期维持高真空，加之器件的钎焊通常在氢炉中进行，对各种钎焊料和器件要求较高。

带玻壳的阳极钎焊结构在实际应用过程中，阳极罩和铸靶的材料均为无氧铜，其熔点为1083℃，玻璃的软化点在800℃左右，阳极后续的加工烘烤温度为650℃。为确保焊接成功，在选择钎焊料时，钎焊料的熔点至少要比钎焊金属的熔点低60℃左右，至少比器件烘烤温度高100℃左右，但是又不能高于玻璃的熔点，因此合适的钎焊料熔点范围非常狭窄。因此，通过选择更高熔点的焊料来避免焊料在高温烘烤时发生蒸发在增加成本的同时，效果也十分有限。

现有技术中，阳极罩和铸靶以搭接形式装配在一起，接触面上放上焊料环，采用平封方式焊接，当工件与焊料被加热到稍高于焊料熔点温度后，焊料融化，阳极罩和铸靶不会熔化，并借助毛细作用被吸入和充满配合间隙，液态焊料分别与阳极罩和铸靶相互扩散溶解，冷凝后形成钎焊接头，且液态焊料极易由接触面扩散至阳极罩和铸靶表面。此外，在器件后续工艺(如排气)进行高温烘烤时，随着真空度的提高，焊料可蒸发温度降低；且随着温度的升高，焊料的饱和蒸气压增大，会有更多的焊料被蒸发出来。现有技术中，焊缝直接暴露在玻壳内的真空腔中，受热后直接由焊缝向外蒸发，沉积在附近的玻壳上，形成环形蒸散区，使得玻壳的绝缘性能和耐压性能变差。

因此，需要提供一种能够解决上述问题的阳极钎焊结构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新的阳极钎焊结构，采用了如下技术方案：

一种阳极钎焊结构，包括：

阳极罩，所述阳极罩的一端形成有向内凹陷的第一定位台阶；

铸靶，所述铸靶包括有本体部和由本体部延伸出的延伸部；其中

所述本体部靠近延伸部的端面与所述第一定位台阶通过钎焊平封方式气密结合；

所述本体部靠近延伸部的端部附近的外壁与第一定位台阶外沿附近的阳极罩内壁形成有环绕一周的间隙。

优选地，所述间隙沿轴向方向上的延伸长度为1-5mm。

优选地，所处间隙沿径向方向上的宽度为0.05-0.2mm。

优选地，所述阳极钎焊结构还包括有金属盖和玻壳；所述金属盖的一端与玻壳热封气密结合。

优选地，所述本体部远离延伸部的一端外壁形成有第二定位台阶。

优选地，所述金属盖远离玻壳的一端与第二定位台阶通过钎焊平封方式气密结合。

优选地，所述金属盖的材质为可伐金属。

优选地，所述第一定位台阶表面沿周向形成有焊料槽。

优选地，所述焊料槽形成多个同心圆状。

优选地，所述第一定位台阶外沿附近的阳极罩内壁表面形成有环状的焊料槽。

本发明的有益效果如下：