[实用新型]真空吸附装置

权利要求书

1.一种真空吸附装置，其特征在于，包括吸附基座(1)、微孔板(2)、密封件(3)，所述吸附基座(1)的下面形成有腔体(11)，吸附基座(1)上设置有连通至腔体(11)的通气孔(12)，所述微孔板(2)设置在所述吸附基座(1)的下面并盖设在所述腔体(11)的开口部上，所述微孔板(2)上布设有多个微孔，所述密封件(3)贴设于微孔板(2)的下表面上，密封件(3)上设置有若干个吸附通孔(31)。

2.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于：所述微孔板(2)上的微孔直径为0.01mm-0.2mm。

3.根据权利要求2所述的真空吸附装置，其特征在于：所述微孔板(2)为激光打孔板或粉末烧结板。

4.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于：所述密封件(3)为海绵或硅胶或橡胶。

5.根据权利要求4所述的真空吸附装置，其特征在于：所述密封件(3)为硅胶发泡物或橡胶发泡物。

6.根据权利要求1所述的真空吸附装置，其特征在于：所述吸附基座(1)的上面设置有连接螺孔(14)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空吸附装置，其特征在于：所述吸附基座(1)在所述腔体(11)的开口部的边沿设置有台阶(13)，所述微孔板(2)设置在台阶(13)上。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的真空吸附装置，其特征在于：所述微孔板(2)设置于安装基体上，所述安装基体与吸附基座(1)连接。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的真空吸附装置，其特征在于：所述密封件(3)与微孔板(2)之间胶粘连接。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的真空吸附装置，其特征在于：所述密封件(3)与微孔板(2)的尺寸相适应。