[实用新型]一种单晶石英坩埚有效
申请号: | 201820422347.9 | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN208219005U | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 庞卫 | 申请(专利权)人: | 连云港亿博材料开发有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 刘刚 |
地址: | 222000 江苏省连云*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶石英坩埚 抗氧化层 下端 本实用新型 单晶硅底板 二氧化硅层 上端 导热板 石墨烯 花键 指窝 石英坩埚 豁口 滑动 导液 拿取 上盖 加热 覆盖 | ||
本实用新型公开了一种单晶石英坩埚,包括主体,所述主体由二氧化硅层与抗氧化层组成,且抗氧化层覆盖在二氧化硅层的外表面,所述主体的内部下端位于抗氧化层的外表面的位置固定安装有石墨烯导热板,所述主体的一侧外表面设有指窝,所述主体的一侧靠近主体的上端的位置固定安装有导液豁口,所述主体的下端外表面设有单晶硅底板,所述主体的下端位于单晶硅底板的外表面的位置设有花键环,所述主体的上端设有上盖。本实用新型所述的一种单晶石英坩埚,设有石墨烯导热板、指窝与花键环,能够便于石英坩埚的加热,并能方便单晶石英坩埚的拿取,还能防止单晶石英坩埚滑动造成损坏,方便人们使用,带来更好的使用前景。
技术领域
本实用新型涉及石英坩埚领域,特别涉及一种单晶石英坩埚。
背景技术
单晶石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛。石英坩埚可在一千四百五十度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料;现有的单晶石英坩埚在使用时存在一定的弊端,石英坩埚拿取不便,容易造成石英坩埚在人们的手中滑落导致石英坩埚的损坏,单晶石英坩埚导热性不好,在对石英坩埚进行加热时,单晶石英坩埚的导热较慢造成加热时间的延长,而且单晶石英坩埚底部光滑,放置的时候容易滑落,易导致单晶石英坩埚的破裂损坏,给人们的使用过程带来了一定的影响,为此,我们提出一种单晶石英坩埚。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种单晶石英坩埚。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
本实用新型一种单晶石英坩埚,包括主体,所述主体由二氧化硅层与抗氧化层组成,且抗氧化层覆盖在二氧化硅层的外表面,所述主体的内部下端位于抗氧化层的外表面的位置固定安装有石墨烯导热板,所述主体的一侧外表面设有指窝,所述主体的一侧靠近主体的上端的位置固定安装有导液豁口,所述主体的下端外表面设有单晶硅底板,所述主体的下端位于单晶硅底板的外表面的位置设有花键环,所述主体的上端设有上盖,所述上盖的下端外表面固定安装有盖沿,所述主体的上端外表面固定安装有提手,所述提手的一侧外表面设有通孔,所述提手的一侧贯穿通孔的位置设有挂绳。
优选的,所述指窝的形状为凹面椭圆形,所述导液豁口的形状为三角锥形。
优选的,所述花键环的形状为圆环状,所述花键环的外表面设有磨砂纹,且花键环与单晶硅底板固定连接。
优选的,所述提手的形状为圆球形,所述通孔贯穿提手,且提手与上盖固定连接。
优选的,所述抗氧化层的材质为石墨纤维,所述单晶硅底板的材质为单晶硅。
优选的,所述上盖的形状为圆形,所述盖沿的形状为圆环形,且盖沿的直径小于上盖的直径。
本实用新型所达到的有益效果是:该单晶石英坩埚,通过设置石墨烯导热板,能够加强单晶石英坩埚的导热性能,在对单晶石英坩埚进行加热时,能够及时的将热量进行传导,减少单晶石英坩埚的加热时间,提高单晶石英坩埚的加热效率,通过设置指窝,指窝设置在单晶石英坩埚的两侧,当人们拿取单晶石英坩埚时,可以通过将两根手指放在指窝内从而将单晶石英坩埚拿取牢固,防止人们在拿取单晶石英坩埚时造成单晶石英坩埚的摔落,便于单晶石英坩埚的拿放,通过设置花键环,利用花键环外表面的磨砂纹增大单晶石英坩埚与放置面的摩擦力,防止单晶石英坩埚在放置的时候滑动造成单晶石英坩埚的滑落,从而避免单晶石英坩埚的损坏,整个单晶石英坩埚结构简单,操作方便,使用的效果相对于传统方式更好。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是本实用新型一种单晶石英坩埚的整体结构示意图;
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