[实用新型]一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置

权利要求书

1.一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置，其特征在于：包括回收控制阀门(1)、过滤装置(2)和净化装置(3)；

所述回收控制阀门(1)与真空箱检漏系统的高压气体罐(6)的第一排气口固定连接；所述回收控制阀门(1)与过滤装置(2)的滤油装置(201)的入口固定连接；

所述过滤装置(2)包括滤油装置(201)和滤水装置(202)；所述滤油装置(201)的出口与滤水装置(202)的入口固定连接；所述滤水装置(202)的出口分别与净化装置(3)的氦气净化装置A(301)和氦气净化装置B(302)的入口固定连接；所述滤水装置(202)的出口处固定安装有程序控制阀门E(505)；

所述净化装置(3)包括氦气净化装置A(301)和氦气净化装置B(302)；所述氦气净化装置A(301)的入口处固定安装有程序控制阀门A(501)；所述氦气净化装置B(302)的入口处固定安装有程序控制阀门B(502)；所述氦气净化装置A(301)的出口处固定安装有程序控制阀门C(503)；所述氦气净化装置B(302)的出口处固定安装有程序控制阀门D(504)；所述氦气净化装置A(301)和氦气净化装置B(302)的出口都与低压气体罐(4)的第一入口固定连接；所述低压气体罐(4)的第一入口处固定安装有质量流量计MFC(7)和程序控制阀门F(506)；

所述低压气体罐(4)的出口与压缩机(5)的入口固定连接；所述压缩机(5)的出口与高压气体罐(6)的进气口固定连接；所述高压气体罐(6)的第二排气口与待检工件装置(8)固定连接；所述待检工件装置(8)与低压气体罐(4)的第二入口固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置，其特征在于，所述回收控制阀门(1)采用电磁阀、气动球阀、波纹管阀中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置，其特征在于，所述回收控制阀门(1)的入口处固定安装有油水分离器。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置，其特征在于，所述滤油装置(201)和滤水装置(202)采用织物滤芯或者金属烧结滤芯，所述滤油装置(201)和滤水装置(202)的底部均设置有自动排水装置。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置，其特征在于，所述程序控制阀门A(501)、程序控制阀门B(502)、程序控制阀门C(503)、程序控制阀门D(504)采用电磁阀、气动球阀、波纹管阀中的任意一种。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置，其特征在于，所述净化装置(3)内部装填有复合吸附材料，所述复合吸附材料采用除水、除油、除空气的吸附材料中的任意两种或任意三种的组合，且净化装置(3)内部装填相同的复合吸附材料。

7.根据权利要求1所述的一种用于真空箱检漏系统的氦气回收净化装置，其特征在于，所述氦气净化装置A(301)和氦气净化装置B(302)之间固定安装有一级无油真空泵。