[实用新型]用于PVD立式产线设备的载板取放装置

权利要求书

1.一种用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，包括固定板、固定单元和两个支架，两个所述支架分别设置在所述固定板的下方的前后两侧，每个所述支架包括长支腿、短支腿和连接杆，所述长支腿和所述连接杆的顶端分别与所述固定板的左右两侧活动连接，所述连接杆的底端与所述短支腿的顶端活动连接，所述短支腿的中部与所述长支腿的中部活动连接；至少一个所述支架上设有驱动单元，所述驱动单元用于驱动所述支架收拢或展开；所述固定单元用于将载板固定在所述固定板的上表面。

2.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述固定单元包括磁铁和电磁吸合器，所述电磁吸合器设置在所述固定板的底面上，所述磁铁设置在所述载板上。

3.根据权利要求2所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述电磁吸合器和所述磁铁的数量均为多个，所述电磁吸合器与所述磁铁一一对应设置。

4.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述长支腿和所述短支腿的底端均设有脚轮。

5.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述驱动单元包括驱动件、齿条以及与所述长支腿连接的齿轮箱，所述齿轮箱上开设有横向贯穿的插孔，所述齿条的一端与所述短支腿的顶部活动连接、另一端插设在所述插孔中，所述齿轮箱内设有齿轮，所述齿轮通过转轴与所述齿轮箱连接，所述齿轮与所述齿条啮合，所述驱动件用于驱动所述齿轮转动。

6.根据权利要求5所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述驱动件包括设置在所述齿轮箱外的摇杆，所述摇杆与所述转轴连接。

7.根据权利要求5所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述驱动件包括电机和控制器，所述电机与所述转轴连接，所述控制器与所述电机电连接。

8.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述驱动单元包括滑杆以及与所述长支腿连接的滑筒，所述滑杆的一端与所述短支腿的顶部活动连接、另一端滑动插设在所述滑筒中。

9.根据权利要求1所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述驱动单元包括液压缸，所述液压缸的缸体与所述长支腿连接，所述液压缸的活塞杆与所述短支腿的顶部活动连接。

10.根据权利要求1至9任一项所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述固定板上设有与所述载板上的弹簧固定夹一一对应的顶销，所述顶销的底部与所述固定板连接、顶部向上延伸，且所述顶销的长度满足当所述载板固定在所述固定板上时所述顶销的顶部能够顶开所述弹簧固定夹。

11.根据权利要求10所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述固定板上设有用于支撑所述载板的固定件，所述固定件的底部与所述固定板连接、顶部向上延伸。

12.根据权利要求11所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述顶销和所述固定件分别与所述固定板可拆卸连接。

13.根据权利要求12所述的用于PVD立式产线设备的载板取放装置，其特征在于，所述顶销和所述固定件的底部均设有外螺纹，所述固定板上开设有与所述外螺纹配合连接的螺纹孔。