[实用新型]加热器及单晶炉

说明书

本实用新型公开了一种加热器及单晶炉，涉及单晶硅制备设备技术领域，主要目的是提供一种能够提高生产效率的加热器及单晶炉。本实用新型的主要技术方案为：一种加热器，包括：本体；连接脚，连接脚包括连接部和脚板，连接部的一端可拆卸连接于本体，另一端固定连接于脚板，脚板具有相对的第一侧面和第二侧面，在第一侧面设置第一连接孔，在第二侧面设置第二连接孔，第一连接孔与第二连接孔相互连通，其中，第一连接孔的直径大于第二连接孔的直径。本实用新型主要用于制备单晶硅。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制备设备技术领域，尤其涉及一种加热器及单晶炉。

背景技术

随着社会的快速发展，光伏领域得到越来越多的人的重视，而单晶硅成为太阳能电池板的主要材料。制作单晶硅的过程中，需要通过单晶炉对硅料进行加热，而单晶炉中的加热器是单晶炉中的热量来源，现有的加热器均使用进口精密石墨经过等静压成型法制造，石墨的电导率一致，加热器中的电阻及发热功率轴向均匀，径向温度以加热器中心为基准，轴向温度以加热器中心为基准，在加热器本体的底部会设置连接脚板，通过连接脚板与石墨电极连接的螺栓进行连接，使电流能够通过连接脚板流向加热器本体，但是，脚板上用于连接的螺栓会紧贴在连接脚板的表面，螺栓的螺帽会增加脚板在实际过程中的高度，限制了坩埚埚位的下降空间，从而减少了二次投料的数量，降低了生产效率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种加热器及单晶炉，主要目的是提供一种能够提高生产效率的加热器及单晶炉。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

一方面，本实用新型实施例提供了一种加热器，包括：

本体；

连接脚，所述连接脚包括连接部和脚板，所述连接部的一端可拆卸连接于所述本体，另一端固定连接于所述脚板，所述脚板具有相对的第一侧面和第二侧面，在所述第一侧面设置第一连接孔，在所述第二侧面设置第二连接孔，所述第一连接孔与所述第二连接孔相互连通，其中，所述第一连接孔的直径大于所述第二连接孔的直径。

进一步的，所述第一连接孔的轴线与所述第二连接孔的轴线相重合。

进一步的，所述连接部与所述脚板为一体成型结构。

进一步的，连接件，所述连接件的一端可拆卸连接于所述本体，另一端可拆卸连接于所述连接部。

进一步的，所述连接件的两端分别具有第一卡接部和第二卡接部，所述本体上具有第一卡槽，所述连接部上具有第二卡槽，所述第一卡接部能够卡入所述第一卡槽，所述第二卡接部能够卡入所述第二卡槽。

进一步的，所述连接件为连接板，所述连接板上具有第一螺纹孔和第二螺纹孔，所述本体上具有第三螺纹孔，所述连接部上具有第四螺纹孔，所述第一螺纹孔与所述第三螺纹孔相对应，所述第二螺纹孔与所述第四螺纹孔相对应。

进一步的，所述连接件设置在靠近所述第一侧面的一侧。

进一步的，所述连接脚的形状为L型。

另一方面，本实用新型实施例还提供了一种单晶炉，包括：

炉体和上述的加热器。

与现有技术相比，本实用新型具有如下技术效果：