[实用新型]晶圆盒

权利要求书

1.一种晶圆盒，用以容置至少一晶圆或晶圆框架，其特征在于：该晶圆盒包含：

盒体，具有底座、两个分别由该底座的左右两侧向上延伸且彼此间隔相对的侧壁、连接该底座和该两侧壁后端的后壁，及连接该两侧壁和该后壁顶端并与该底座间隔相对的顶壁，该底座、该两侧壁、该后壁及该顶壁共同界定容置空间，且该底座、该两侧壁及该顶壁共同形成门框并界定与该容置空间连通的开口；

门体，可拆离地与该盒体组合以封闭该开口，且具有相连接的内门板及外门板；

机器提把，连接于该盒体的该顶壁的外侧面；

多个动态定位销，连接于该盒体的该底座的外侧面，且所述动态定位销分布位置的中心点与该机器提把的中心点在上下方向相对齐；及

至少一个配重件，布设于该底座，以使该晶圆盒于容置该至少一晶圆或晶圆框架后的整体的重心位于该机器提把的中心点与所述动态定位销分布位置的中心点的连线上。

2.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该内门板设有至少一感测手段。

3.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该底座形成有至少一与该容置空间相连通且邻近该后壁的进气孔。

4.根据权利要求3所述晶圆盒，其特征在于：该晶圆盒还包含至少一设置于该容置空间内并且结合于该底座及该后壁的导流件，该导流件与该底座及该后壁共同界定出与该进气孔相连通的气体流道，该导流件形成有多个沿着该上下方向彼此相间隔排列的出气口，所述出气口连通该气体流道与该容置空间。

5.根据权利要求4所述晶圆盒，其特征在于：该导流件可拆卸地结合于该底座及该后壁。

6.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该底座具有多个凸出于底侧以适用于共同靠抵于承载面的支撑部。

7.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：每一个侧壁形成多个沿该上下方向间隔排列且各自沿前后方向延伸的支撑肋，以在两个侧壁对应的每两个支撑肋上方形成与该容置空间相连通的容置槽。

8.根据权利要求7所述晶圆盒，其特征在于：该顶壁或至少一该侧壁顶端邻近该开口处还形成至少一个朝向该底座或/及对侧的另一该侧壁突出的防呆挡部，以将最上方的该容置槽上方的该开口处封闭，或使任一该侧壁与该防呆挡部边缘的距离小于该晶圆盒内所欲容置的该至少一晶圆或晶圆框架的外径。

9.根据权利要求7所述晶圆盒，其特征在于：该底座或至少一该侧壁底端邻近该开口处还形成至少一个朝向该顶壁或/及对侧的另一该侧壁突出的防呆挡部，以将最下方的该容置槽下方的该开口处封闭，或使任一该侧壁与该防呆挡部边缘的距离小于该晶圆盒内所欲容置的该至少一晶圆或晶圆框架的外径。

10.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该盒体还具有多个连接于该顶壁的外侧面的提取部。

11.根据权利要求10所述晶圆盒，其特征在于：所述提取部为一体成型地与该顶壁连接。

12.根据权利要求10所述晶圆盒，其特征在于：所述提取部可拆地与该顶壁连接。

13.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该后壁具有后侧透光部，该顶壁具有与该后侧透光部相连的顶侧透光部，且该后侧透光部与该顶侧透光部共同形成能透光的视窗。

14.根据权利要求1所述晶圆盒，其特征在于：该门体还包括弹性密封环，该内门板的外周轮廓小于该外门板的外周轮廓，该弹性密封环具有由该外门板与该内门板共同夹持固定的固定部，及与该固定部连接且环绕于该内门板的外周缘和该外门板的外周缘之间的密封部，该密封部用以密封该门体与该盒体之间的缝隙。