[实用新型]晶圆盒有效

专利信息
申请号: 201820836854.7 申请日: 2018-05-31
公开(公告)号: CN208368484U 公开(公告)日: 2019-01-11
发明(设计)人: 邱铭隆;杨宗益;陈延方 申请(专利权)人: 中勤实业股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 代理人: 张雅军;許榮文
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 晶圆盒 提把 动态定位 中心点 盒体 晶圆 底座 分布位置 晶圆框架 容置空间 配重件 外侧面 顶壁 门体 容置 抓取 封闭开口 盒体组合 机械手臂 上下方向 布设 销连接 侧壁 后壁 晃动 界定 可拆 连线 圆盒 种晶 连通 开口 损伤 重心 移动 平衡
【说明书】:

一种晶圆盒,用以容置至少一晶圆或晶圆框架,该晶圆盒包含盒体、门体、机器提把、多个动态定位销及至少一个配重件。盒体具有底座、两个侧壁、后壁及顶壁,并界定容置空间及与容置空间连通的开口。门体可拆离地与盒体组合以封闭开口。机器提把连接于盒体的顶壁的外侧面。动态定位销连接于盒体的底座的外侧面,动态定位销分布位置的中心点与机器提把的中心点在上下方向相对齐。配重件布设于底座,以使该晶圆盒于容置该至少一晶圆或晶圆框架后的整体的重心位于机器提把的中心点与动态定位销分布位置的中心点的连线上。如此可在机械手臂抓取机器提把以移动晶圆盒的过程中,使该晶圆盒保持平衡及平稳以避免倾斜或晃动,借此降低晶圆损伤的机率。

技术领域

本实用新型涉及一种容器,特别是涉及一种用于容置晶圆或晶圆框架的晶圆盒。

背景技术

晶圆是半导体制程中的基材,由于晶圆易碎且要避免污染,在运送过程中需要使用密封容器来保护。

此外,经过曝光、蚀刻等制程处理过但尚未经过切割的晶圆,在要进行后续的切割等制程处理前,会先以胶膜黏贴于一晶圆框架上,然后再连同晶圆框架一同放进容器中进行传送。在这些传送过程中,晶圆框架及其上所贴附的晶圆同样也必须给予相同的保护。

而在自动化产线上,常会利用机械手臂提取晶圆盒,以将晶圆盒移动。如何确保以机械手臂移动晶圆盒的过程中,使晶圆盒保持平稳而不晃动或不倾斜,以避免晶圆在晶圆盒内滑动而与晶圆盒产生碰撞,是需要改善的课题。

发明内容

本实用新型的其中一目的在于提供一种用以容置至少一晶圆或晶圆框架,并可在机械手臂提取移动过程中保持平衡及平稳的晶圆盒。

本实用新型晶圆盒在一些实施态样中,是包含盒体、门体、机器提把、多个动态定位销及至少一个配重件。该盒体具有底座、两个分别由该底座的左右两侧向上延伸且彼此间隔相对的侧壁、连接该底座和该两侧壁后端的后壁,及连接该两侧壁和该后壁顶端并与该底座间隔相对的顶壁,该底座、该两侧壁、该后壁及该顶壁共同界定容置空间,且该底座、该两侧壁及该顶壁共同形成门框并界定与该容置空间连通的开口。该门体可拆离地与该盒体组合以封闭该开口,且具有相连接的内门板及外门板。该机器提把连接于该盒体的顶壁的外侧面。所述动态定位销连接于该盒体的底座的外侧面,且所述动态定位销分布位置的中心点与该机器提把的中心点在上下方向相对齐。该至少一配重件布设于该底座,以使该晶圆盒于容置该至少一晶圆或晶圆框架后的整体的重心位于该机器提把的中心点与所述动态定位销分布位置的中心点的连线上。

在一些实施态样中,该内门板设有至少一感测手段。

在一些实施态样中,该底座形成有至少一与该容置空间相连通且邻近该后壁的进气孔。

在一些实施态样中,该晶圆盒还包含至少一设置于该容置空间内并且结合于该底座及该后壁的导流件,该导流件与该底座及该后壁共同界定出与该进气孔相连通的气体流道,该导流件形成有多个沿着该上下方向彼此相间隔排列的出气口,所述出气口连通该气体流道与该容置空间。

在一些实施态样中,该导流件可拆卸地结合于该底座及该后壁。

在一些实施态样中,该底座具有多个凸出于底侧以适用于共同靠抵于承载面的支撑部。

在一些实施态样中,每一个侧壁形成多个沿该上下方向间隔排列且各自沿前后方向延伸的支撑肋,以在两个侧壁对应的每两个支撑肋上方形成与该容置空间相连通的容置槽。

在一些实施态样中,该顶壁或至少一该侧壁顶端邻近该开口处还形成至少一个朝向该底座或/及对侧的另一该侧壁突出的防呆挡部,以将最上方的该容置槽上方的该开口处封闭,或使任一该侧壁与该防呆挡部边缘的距离小于该晶圆盒内所欲容置的该至少一晶圆或晶圆框架的外径。

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