[实用新型]一种硅片舟翻转及转移装置

权利要求书

1.一种硅片舟翻转及转移装置，其特征在于，包括翻转机构、转移机构及存放机构，其中，

翻转机构：连接在所述转移机构上，用于夹持竖立状态的硅片舟，并将所述硅片舟翻转至横平状态；包括顶板、设置于所述顶板上的旋转气缸和连接在所述顶板下方的夹持组件，所述夹持组件用于夹持所述竖立状态的硅片舟，所述旋转气缸用于驱动所述夹持组件翻转；

转移机构：包括龙门架及设置在所述龙门架上的转移组件，所述转移组件用于带动所述翻转机构沿X轴、Y轴和Z轴移动，以夹持所述存放机构内竖立状态的硅片舟或将所述横平状态的硅片舟放置于所述存放机构内；

存放机构：设置于所述转移机构下方，用于放置硅片舟；包括竖立放置区和横平放置区，所述竖立放置区用于放置所述竖立状态的硅片舟，所述横平放置区用于放置所述横平状态的硅片舟。

2.根据权利要求1所述的硅片舟翻转及转移装置，其特征在于，所述夹持组件包括两个相对设置的侧板、用于驱动所述侧板的伸缩气缸和设置于所述侧板前端或后端的托板，所述伸缩气缸用于驱动所述两侧板靠近或远离以夹紧或松开所述硅片舟，所述托板用于从底部托住所述横平状态硅片舟内的硅片。

3.根据权利要求2所述的硅片舟翻转及转移装置，其特征在于，在所述托板上设置有多个齿槽，所述硅片舟内的硅片可卡设在所述齿槽内。

4.根据权利要求1所述的硅片舟翻转及转移装置，其特征在于，所述转移组件包括X轴移动组件、Y轴移动组件和Z轴移动组件，所述X轴移动组件包括X轴驱动装置和X轴支架，所述Y轴移动组件包括Y轴驱动装置和Y轴支架，所述Z轴移动组件包括Z轴驱动装置和Z轴支架，其中，所述Z轴移动组件设置在所述Y轴支架上，所述Y轴移动组件设置在所述X轴支架上，所述X轴支架设置在所述龙门架上。

5.根据权利要求4所述的硅片舟翻转及转移装置，其特征在于，所述翻转机构连接在所述Z轴支架上。

6.根据权利要求5所述的硅片舟翻转及转移装置，其特征在于，所述顶板连接在所述Z轴支架上。

7.根据权利要求4所述的硅片舟翻转及转移装置，其特征在于，所述X轴驱动装置、Y轴驱动装置、Z轴驱动装置为气缸、电缸、液压缸、直线电机中的一种。

8.根据权利要求1所述的硅片舟翻转及转移装置，其特征在于，在所述横平放置区设置有卡位组件，用于定位所述横平状态的硅片舟。