[实用新型]一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具有效
申请号: | 201820929372.6 | 申请日: | 2018-06-15 |
公开(公告)号: | CN208323868U | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 苏双图;张洁;赖柏帆;林武庆 | 申请(专利权)人: | 福建北电新材料科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;B28D5/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 362211 福建省泉州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶棒 碳化硅 支撑杆 螺纹 治具 快速寻找 本实用新型 固定圆环 导向杆 上表面 圆顶 锥套 底座 圆形螺纹口 边缘误差 距离降低 时间降低 圆形螺纹 作业效率 上端 棒端面 内表面 外边缘 下端 粘晶 测量 | ||
1.一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面平行安装有第一支撑杆(2)和第二支撑杆(3),所述第一支撑杆(2)和第二支撑杆(3)的上端均设置有导向杆(4),所述导向杆(4)的一端安装在第一支撑杆(2)和第二支撑杆(3)的内侧,所述导向杆(4)的另一端安装在固定圆环架(5)的外表面上,所述固定圆环架(5)的内表面安装有螺纹圆形锥套(6),所述螺纹圆形锥套(6)的下端开设有圆形螺纹口(61),所述圆形螺纹口(61)内安装有螺纹置中圆顶芯(7),所述螺纹置中圆顶芯(7)通过圆形螺纹口(61)与螺纹圆形锥套(6)螺纹连接,所述螺纹置中圆顶芯(7)的上表面设置有碳化硅晶棒(8),所述碳化硅晶棒(8)紧贴螺纹圆形锥套(6)的内壁,所述螺纹置中圆顶芯(7)的下表面设置有连接轴(9),所述连接轴(9)通过联轴器与电机(10)的输出轴连接,所述电机(10)安装在电机框架(11)内,所述电机框架(11)安装在底座(1)的上表面上。
2.根据权利要求1所述的一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具,其特征在于:所述第一支撑杆(2)和第二支撑杆(3)的上端均开设有供导向杆(4)运动的滑槽(21)。
3.根据权利要求1所述的一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具,其特征在于:所述固定圆环架(5)上开设有与螺纹圆形锥套(6)适配的槽孔(51),所述螺纹圆形锥套(6)与固定圆环架(5)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具,其特征在于:所述碳化硅晶棒(8)采用胶水与螺纹置中圆顶芯(7)的上表面连接。
5.根据权利要求1所述的一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具,其特征在于:所述碳化硅晶棒(8)通过手压式吸盘(12)吸出。
6.根据权利要求1所述的一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具,其特征在于:所述螺纹置中圆顶芯(7)通过花键与连接轴(9)连接。
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