[实用新型]一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具

说明书

本实用新型公开了一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具，包括底座，底座的上表面安装有第一支撑杆和第二支撑杆，第一支撑杆和第二支撑杆的上端均设置有导向杆，导向杆的一端安装在固定圆环架上，固定圆环架的内表面安装有螺纹圆形锥套，螺纹圆形锥套的下端开设有圆形螺纹口，圆形螺纹口内安装有螺纹置中圆顶芯，螺纹置中圆顶芯的上表面设置有碳化硅晶棒。本实用新型快速寻找碳化硅晶棒中心的治具，不仅降低了作业时间，提高了人员的作业效率，每根作业时间降低了3‑8min，而且晶棒中心的定位精度也得到有效的提高，粘晶棒端面治具外边缘距晶棒边缘误差距离降低了0‑1mm，同时也避免了由于人为测量晶棒会不小心撞到晶棒导致晶棒出现崩角等的人为不确定风险。

技术领域

本实用新型涉及半导体单晶材料加工技术领域，具体为一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具。

背景技术

碳化硅是继第一代半导体Si、第二代半导体GaAs、InP等之后发展起来的重要的第三代半导体材料，它具有宽禁带、高热导率、高击穿场强、高载流子饱和迁移速率等的特点，在高温、高频、大功率、微电子器件等方面和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，具有巨大的应用潜力。然而，想得到一片完整的碳化硅衬底，需要经过很多道工序进行加工，因此碳化硅晶棒外径的滚圆是必不可少的，然而在碳化硅晶棒进行滚圆前，需要对碳化硅晶棒的中心进行寻找并用胶水将滚圆机上的治具与碳化硅晶棒的中心粘在一起。

将治具粘在碳化硅晶棒端面前，需要对碳化硅晶棒的中心进行确认，如果治具没有准确粘在晶棒的中心，有可能导致晶棒圆边有一部分已经被磨掉，有一部分还未被完全磨掉，这势必会影响到碳化硅晶棒的直径，严重时有可能导致在滚圆时，碳化硅晶棒出现崩角或裂痕，因此如何快速寻找而又准确的寻找到碳化硅晶棒的中心是当前迫切的需求。

现有寻找碳化硅晶棒中心的方法，主要是将粘结碳化硅端面治具放在碳化硅晶棒的端面上，然后采用游标卡尺分不同位置测量碳化硅晶棒圆边到达贴紧碳化硅端面治具外边缘的距离，慢慢的将粘晶棒治具校正到碳化硅晶棒的中心，但是由于碳化硅晶棒在滚圆前，碳化硅晶棒圆边呈现不规则形态，因此采用此种方法寻找碳化硅晶棒中心误差较大，操作不方便，且操作过程中很容易磕碰到晶棒造成崩角。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具，可快速而又准确的寻找碳化硅晶棒的中心，避免了由于人为操作和晶棒圆边不规则导致作业和测量存在较大误差，操作简单易上手，人员造成误差低，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种快速寻找碳化硅晶棒中心的治具，包括底座，所述底座的上表面平行安装有第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆和第二支撑杆的上端均设置有导向杆，所述导向杆的一端安装在第一支撑杆和第二支撑杆的内侧，所述导向杆的另一端安装在固定圆环架的外表面上，所述固定圆环架的内表面安装有螺纹圆形锥套，所述螺纹圆形锥套的下端开设有圆形螺纹口，所述圆形螺纹口内安装有螺纹置中圆顶芯，所述螺纹置中圆顶芯通过圆形螺纹口与螺纹圆形锥套螺纹连接，所述螺纹置中圆顶芯的上表面设置有碳化硅晶棒，所述碳化硅晶棒紧贴螺纹圆形锥套的内壁，所述螺纹置中圆顶芯的下表面设置有连接轴，所述连接轴通过联轴器与电机的输出轴连接，所述电机安装在电机框架内，所述电机框架安装在底座的上表面上。

优选的，所述第一支撑杆和第二支撑杆的上端均开设有供导向杆运动的滑槽。

优选的，所述固定圆环架上开设有与螺纹圆形锥套适配的槽孔，所述螺纹圆形锥套与固定圆环架固定连接。

优选的，所述碳化硅晶棒采用胶水与螺纹置中圆顶芯的上表面连接。

优选的，所述碳化硅晶棒通过手压式吸盘吸出。

优选的，所述螺纹置中圆顶芯通过花键与连接轴连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：