[实用新型]一种真空镀膜蒸发源控制装置的模拟量变换输出模块有效

专利信息
申请号: 201820936933.5 申请日: 2018-06-15
公开(公告)号: CN211645373U 公开(公告)日: 2020-10-09
发明(设计)人: 孔令刚;范多旺;蒋庆安;姚小明 申请(专利权)人: 兰州交通大学
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;C23C14/24
代理公司: 常州市江海阳光知识产权代理有限公司 32214 代理人: 翁坚刚;汤志和
地址: 730070 甘肃*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 蒸发 控制 装置 模拟 变换 输出模块
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜蒸发源控制装置的模拟量变换输出模块,其特征在于:所述的模拟量变换输出模块(7)包括高速光耦(7a)、数模转换电路(7b)、基准电源电路(7c)、四种标准电压输出模式电路(7d)、两种标准电流输出模式电路(7e)和输出模式选择组合电路(7f);高速光耦(7a)设有输入端和输出端;数模转换电路(7b)设有输入端、输出端和电源端;基准电源电路(7c)设有输入端和输出端;四种标准电压输出模式电路(7d)设有第一输入端、第二输入端、第一输出端和第二输出端;两种标准电流输出模式电路(7e)设有第一输入端、第二输入端和输出端;输出模式选择组合电路(7f)设有第一输出端和第二输出端;

高速光耦(7a)的输入端即为模拟量变换输出模块(7)的输入端;高速光耦(7a)的输出端与数模转换电路(7b)的输入端相连;数模转换电路(7b)的电源端与基准电源电路(7c)的输出端相连;数模转换电路(7b)的输出端与四种标准电压输出模式电路(7d)的第一输入端相连;四种标准电压输出模式电路(7d)的第二输入端与输出模式选择组合电路(7f)的第一输出端相连;四种标准电压输出模式电路(7d)的第二输出端与两种标准电流输出模式电路(7e)的第二输入端相连;两种标准电流输出模式电路(7e)的第一输入端与输出模式选择组合电路(7f)的第二输出端相连。

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