[实用新型]一种真空镀膜蒸发源控制装置的模拟量变换输出模块

说明书

本实用新型涉及一种用于真空镀膜蒸发源控制装置的模拟量变换输出模块，该输出模块包括高速光耦、数模转换电路、基准电源电路、四种标准电压输出模式电路、两种标准电流输出模式电路和输出模式选择组合电路。本实用新型的的模拟量变换输出模块结构简单，调节方式多样，具有四种标准电压输出模式，且工作可靠。

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜设备的蒸发源控制装置，特别是涉及一种基于真空镀膜蒸发源控制装置的模拟量变换输出模块。

背景技术

蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率，可镀制单质以及得到不易热分解的化合物膜的特点。蒸发镀膜设备是一种通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面上的设备。蒸发镀膜设备也称为真空镀膜机或者真空镀膜系统。蒸发镀膜设备包括真空罩（也称为真空镀膜室）和抽真空系统，还包括设置在真空罩中的基片和蒸发源。基片位于蒸发源上方。基片就是待镀工件，如金属、陶瓷、塑料等。蒸发源是用来加热膜材使之气化蒸发的装置。所述的膜材就是蒸发物质，蒸发物质通常为固体金属（例如铝）和化合物。

蒸发源有三种类型。①电阻加热源：用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质。电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料；②高频感应加热源：用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质；③电子束加热源：适用于蒸发温度较高（不低于2000℃）的材料，即用电子束轰击材料使其蒸发。蒸发源是真空镀膜设备的核心组件。真空镀膜设备根据设备规格大小配置数量不等的蒸发源。蒸发源控制的自动化程度、精度和稳定性是关系镀膜效率、薄膜质量的关键因素之一。

现有技术对变压器一次侧的电流电压调节方式均较为简单，电压输出的模式较少。

发明内容

为避免上述技术的不足，本实用新型要解决的技术问题也即本实用新型的目的是，提供一种电压输出的模式较多的真空镀膜蒸发源控制装置的模拟量变换输出模块。

本实用新型的技术方案是：本实用新型的

模拟量变换输出模块，包括高速光耦、数模转换电路、基准电源电路、四种标准电压输出模式电路、两种标准电流输出模式电路和输出模式选择组合电路；高速光耦设有输入端和输出端；数模转换电路设有输入端、输出端和电源端；基准电源电路设有输入端和输出端；四种标准电压输出模式电路设有第一输入端、第二输入端、第一输出端和第二输出端；两种标准电流输出模式电路设有第一输入端、第二输入端和输出端；输出模式选择组合电路设有第一输出端和第二输出端。

高速光耦的输入端即为模拟量变换输出模块的输入端；高速光耦的输出端与数模转换电路的输入端相连；数模转换电路的电源端与基准电源电路的输出端相连；数模转换电路的输出端与四种标准电压输出模式电路的第一输入端相连；四种标准电压输出模式电路的第二输入端与输出模式选择组合电路的第一输出端相连；四种标准电压输出模式电路的第二输出端与两种标准电流输出模式电路的第二输入端相连；两种标准电流输出模式电路的第一输入端与输出模式选择组合电路的第二输出端相连。

本实用新型具有的积极效果：

（1）本实用新型的的模拟量变换输出模块结构简单，调节方式多样，具有四种标准电压输出模式，且工作可靠。

附图说明

图1为本实用新型的模拟量变换输出模块的结构框图。

图2为图1所示的模拟量变换输出模块用于蒸发源控制装置中时，该蒸发源控制装置的结构框图。

上述附图中的附图标记如下：