[实用新型]用于镀膜设备的镜片加热装置

说明书

本申请公开了一种用于镀膜设备的镜片加热装置，该镜片加热装置包括加热源和用于支撑所述镜片的伞状支架。所述加热源具有平面的构造，并布置在所述伞状支架的上方；所述伞状支架具有多个呈扇形的镜片支撑板；以及所述加热源与多个所述镜片支撑板中的其中一个平行布置。根据本申请的镜片加热装置，具有温度控制精度高、温度分布均匀性好等特点，有利于提高镜片镀膜过程中的产品信赖性与反射率一致性，提高成膜质量。

技术领域

本申请涉及一种镜片加热装置，更具体地，本申请涉及一种可应用于镀膜设备的、并可实现精确温度控制的镜片加热装置。

背景技术

在镜片镀膜设备中，镀膜腔室上部通常设置有承载着镀膜镜片的伞状支架。为了在镀膜前除去空白镀膜镜片的水汽和在镀膜中保持合适的镀膜镜片的温度，在镀膜腔室中通常需要设置加热装置。加热装置的加热效果的精确反馈和加热功率的精度控制对于成膜质量有直接影响。

现有技术中，加热装置主要有如下两个结构：1)在伞状支架上方设置加热灯；以及2)在镀膜腔室的内壁设置加热丝。但是，由于伞状支架导热性的局限，现有的加热方式在镀膜过程中会使得位于伞状支架不同位置处的镜片存在较大的温度偏差(10℃左右)。现有加热方式在温度控制精度和温度分布均匀性等方面的问题，导致位于伞状支架不同位置处的镜片在镀膜后的反射率不一致，导致同炉产品存在信赖性差异。

发明内容

本申请提供了一种可以至少克服或部分克服现有技术的上述至少一个缺陷的解决方案。

一方面，本申请提供了一种用于镀膜设备的镜片加热装置，该镜片加热装置包括加热源和用于支撑镜片的伞状支架。加热源具有平面的构造，并布置在伞状支架的上方；伞状支架具有多个呈扇形的镜片支撑板；以及加热源与多个镜片支撑板中的其中一个平行布置。

在一个实施方式中，多个镜片支撑板在伞状支架的上表面对称分布。

在一个实施方式中，加热源具有多个在加热源上采用分区式布置结构的加热模块。

在一个实施方式中，加热源还具有多个感温模块。

在一个实施方式中，多个感温模块在加热源上均匀分布。

在一个实施方式中，镜片加热装置还包括旋转驱动模块，该旋转驱动模块与伞状支架联接以带动伞状支架自转。

在一个实施方式中，伞状支架还设置有温度探测模块，温度探测模块位于镜片支撑板的下方以检测镜片支撑板的温度。

另一方面，本申请还提供了一种镀膜设备，该镀膜设备包括如上所述的镜片加热装置。

本申请通过改进镜片加热装置的布置方式(即，使构造成平面状的加热源与放置镜片的镜片支撑板平行)，来保证加热源与每个镜片的距离相等，从而有利于每个镜片获得相等的热量。进一步地，通过在加热源上设置多个采用分区式布置结构的加热模块，并根据感温模块的温度反馈设置位于不同分区的加热模块的加热温度，使得每个镜片温度一致，从而降低温度分布均匀性的差异，提升产品信赖性和反射率一致性，提高成膜质量。

附图说明

图1示出了根据本申请实施方式的加热装置的示意性结构图。

具体实施方式

为了更好地理解本申请，将参考附图对本申请的各个方面做出更详细的说明。应理解，这些详细说明只是对本申请的示例性实施方式的描述，而非以任何方式限制本申请的范围。在说明书全文中，相同的附图标号指代相同的元件。表述“和/或”包括相关联的所列项目中的一个或多个的任何和全部组合。