[实用新型]用于将处理室与测量系统连接的连接适配器以及测量设备

权利要求书

1.一种用于将处理室(300)与测量系统(2)连接的连接适配器(500)，

具有至少三个端口，包括

-处理端口(3)，其中所述处理端口(3)连接或能够连接到所述处理室(300)上，

-测量端口(4)，其中所述测量系统(2)连接或能够连接到所述测量端口(4)上，以及

-接入端口(5)，所述接入端口具有自密封的联接件(6)，

具有管路系统(400)，包括管路和至少一个能关闭的锁闭装置(8，308，318)，其中

-管路系统(400)将所述处理端口(3)与所述测量端口(4)和所述接入端口(5)连接，

-在处理端口(3)与测量端口(4)之间的连接能够借助所述锁闭装置(8，308，318)气体密封地锁闭，

所述接入端口(5)经由所述管路系统(400)与所述测量端口(4)连接或能够连接，

所述连接适配器具有一件式的基体(1)，在所述基体中成型出所述管路系统(400)和所述接入端口，

-所述基体(1)由钢、铝或金属合金构成，以及

测量系统(2)，在所述测量端口(4)处直接与一件式的基体连接或焊接。

2.根据权利要求1所述的连接适配器(500)，其特征在于，

-所述锁闭装置(8，308，318)具有封闭件(20)、密封座(9)和对称轴线(S1)，所述对称轴线穿过所述密封座(9)和所述封闭件(20)，

-其中所述对称轴线(S1)至少基本上平行于通向所述接入端口(5)的管路(69.3)。

3.根据权利要求1所述的连接适配器(500)，其特征在于，所述锁闭装置(8，308，318)的对称轴线(S1)与通向所述接入端口(5)的管路(69.3)的对称轴线(S2)至少基本上在相同的高度上或至少近似重合地或在一个平面中伸展。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的连接适配器(500)，其特征在于，

-所述锁闭装置(8，308，318)具有封闭件(20)和密封座(9)，其中

-封闭件(20)是能够相对于所述密封座(9)运动的密封锥体，所述密封锥体经由螺丝在轴向上在螺纹部段(22)上能够相对于所述密封座(9)密封地移动。

5.根据权利要求2所述的连接适配器(500)，其特征在于，

-所述锁闭装置(8，308，318)的封闭件(20)经由波纹管(23)与所述锁闭装置(8，308，318)的阀体(32)对外密封地连接，

-其中所述阀体(32)刚性地与所述密封座(9)连接。

6.根据权利要求5所述的连接适配器(500)，其特征在于，

-所述封闭件(20)经由所述波纹管(23)与密封元件(30)连接，其中

-所述密封元件(30)利用O形环(31)相对于所述阀体(32)密封，和/或

-所述密封元件(30)金属地经由密封槽(34)相对于所述阀体(32)密封。

7.根据权利要求1-3、5和6中任一项所述的连接适配器(500)，其特征在于，

-所述锁闭装置(8，308，318)能够借助工具(50)操纵，其中

-设置有安全装置，当所述锁闭装置(8，308，318)关闭时，或当所述锁闭装置(8，308，318)并未完全打开时，所述安全装置防止所述工具(50)与所述锁闭装置(8，308，318)脱开。

8.根据权利要求7所述的连接适配器(500)，其特征在于，

-所述安全装置具有壳体件(40)和能够相对于所述壳体件(40)调节的限制板(41)，所述限制板经由纵向槽引导，其中

-所述工具(50)是扳手，

-所述限制板(41)在所述锁闭装置(8，308，318)的完全打开的位置中能通过中央的开口(42)实现引入具有所述工具(50)的编码凸轮(51)的工具(50)，其中所述编码凸轮能够引入到所述限制板(41)的凹进部(43)中，或

-环绕的壁在转动时防止所述工具(50)拔出。