[实用新型]一种用于制造硅基异质结电池的工装

权利要求书

1.一种用于制造硅基异质结电池的工装，用于夹持硅片，其特征在于，包括上下设置的上盖和托盘，所述托盘上设置有用于固定硅片的安装槽；所述上盖与托盘之间设置有限位机构，所述限位机构设置在所述安装槽的边沿，用于水平限位硅片。

2.根据权利要求1所述的工装，其特征在于，所述限位机构包括设置在所述安装槽边沿的限位销钉，多个所述限位销钉与硅片的周向边缘相抵。

3.根据权利要求2所述的工装，其特征在于，所述硅片包括镀膜区和其外周的遮盖区，所述上盖设置有用以显露出所述镀膜区的通孔，所述上盖覆盖所述遮盖区的上端面。

4.根据权利要求3所述的工装，其特征在于，所述限位销钉的下端与托盘固定，所述上盖的下端对应所述限位销钉设置有销孔，所述限位销钉的上端插入所述销孔。

5.根据权利要求4所述的工装，其特征在于，所述上盖在所述通孔的外周设置有便于镀膜的第一斜面，所述销孔为盲孔，用以避免所述限位销钉突出所述第一斜面而干涉镀膜。

6.根据权利要求1所述的工装，其特征在于，所述限位机构包括突出所述托盘上表面的限位块，多个所述限位块沿所述安装槽周向均匀布置。

7.根据权利要求1-6任一所述的工装，其特征在于，所述上盖与托盘之间设置有用于相对固定所述上盖与托盘的定位凸起。

8.根据权利要求7所述的工装，其特征在于，所述托盘在相邻所述安装槽之间设置有定位凸起，所述上盖对应所述定位凸起设置有供其插入的定位孔。

9.根据权利要求1-6任一所述的工装，其特征在于，所述安装槽和上盖下端面的表面粗糙度为0.01-0.16μm。

10.根据权利要求1-6任一所述的工装，其特征在于，所述托盘的下端面设置有用于与传输设备连接的槽体；所述上盖的上端设置有辨识孔。