[实用新型]一种石墨舟清洗运载装置

说明书

本实用新型公开了一种石墨舟清洗运载装置，其包括：清洗槽、设有该清洗槽操作端内壁面的卡槽；还包括位于所述清洗槽底部的平板车，与该平板车一端铰接的双拉杆，该双拉杆的头部设有卡勾，当该双拉杆放平时，所述的卡勾与所述的卡槽卡合。本实用新型在清洗槽用作载具，一次可以清洗较多的石墨舟，清洗效率大有提高。清洗槽底部设有导轨，加上平板车的高度，使得人工弯腰取放石墨舟比较方便，降低了操作强度，加之采用了推车，石墨舟与清洗槽不易产生摩擦而损坏，良品率大有提高。人工只需在清洗槽一端操作，减小了操作空间，适用操作空间较小的车间。

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片的槽式清洗设备和黑硅制绒设备，尤其涉及一种用于硅片镀膜的承载件—石墨舟清洗运载装置。

背景技术

在太阳能电池硅片的氮化硅减反射膜沉积工艺中，一般采用石墨舟或者石墨框用作硅片的承载物。但在工艺过程中，作为承载物的石墨舟也会被沉积到氮化硅薄膜。该膜到一定厚度以后，就需要对石墨舟做先酸洗后水洗的清洗处理。目前业界普遍采用的清洗方法是先使用HF/HCL混合液湿法槽式清洗，即将石墨舟浸泡在存有HF/HCL的清洗槽中4~8小时，再抽点该槽子里的药液，然后用清水漂洗，最后高温烘箱烘4~8小时烘干。但是现有的清洗方式存在以下缺点：1、由于操作空间的限制，每次只能放一个石墨舟在清洗槽的一端进行清洗，远离操作岗位的清洗槽的内部空间不能充分利用，清洗效率较低；而且每次需要将石墨舟放置于清洗槽底部，人工取放比较困难，以致石墨舟与清洗槽易产生摩擦而损坏。

因此，如何克服现有石墨舟进行清洗效率低、良品率低和操作强度大的缺陷是业界亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有石墨舟清洗效率低、良品率低和操作强度大的问题，提出这一种清洗效率高、良品率高和操作强度低的石墨舟清洗运载装置。

本实用新型提出的一种石墨舟清洗运载装置，其包括：清洗槽、设有该清洗槽操作端内壁面的卡槽；还包括位于所述清洗槽底部的平板车，与该平板车一端铰接的双拉杆，该双拉杆的头部设有卡勾，当该双拉杆放平时，所述的卡勾与所述的卡槽卡合 。

较优的，所述的清洗槽底部设有导轨，所述的平板车的轮子在该导轨上滚动。

较优的，所述平板车的平板宽度与所述清洗槽底部宽度适配，而平板车的平板长度加上所述双拉杆放平时的长度与清洗槽底部长度适配。

本实用新型用于清洗石墨舟时，先将平板车拉到清洗槽操作端，将石墨舟放满平板车，然后将平板车推向清洗槽的远方，并将双拉杆放平卡扣固定，再在该双拉杆放置石墨舟。开始酸洗和清洗，如此一次可以清洗较多的石墨舟，清洗效率大有提高。由于清洗槽底部设有导轨，加上平板车的高度，使得人工取放石墨舟比较方便，降低了操作强度，加之采用了推车，石墨舟与清洗槽不易产生摩擦而损坏，良品率大有提高。人工只需在清洗槽一端操作，减小了操作空间，适用操作空间较小的车间。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明。

如图1所示，为本实用新型较佳实施例，所述的石墨舟清洗运载装置，其包括：清洗槽1、设有该清洗槽1操作端内壁面的卡槽2；还包括位于所述清洗槽1底部的平板车3，与该平板车一端铰接的双拉杆4，该双拉杆的头部设有卡勾5，当该双拉杆放平时，卡勾5与清洗槽1内壁面的卡槽2卡合 。本实施例中，清洗槽1底部设有导轨6，平板车3的轮子7可在该导轨6上滚动。平板车3的平板宽度尽量与清洗槽1底部的宽度适配，而平板车3的平板长度加上双拉杆4放平时的长度与清洗槽底部长度适配。