[实用新型]一种物理气相沉积设备

权利要求书

1.一种物理气相沉积设备，包括气相沉积箱(1)和蒸镀器(9)，其特征在于：所述气相沉积箱(1)上部的两侧对应竖直安装有两组驱动电机(7)，两组所述驱动电机(7)的输出轴末端对应连接两根丝杆(6)的顶端，两根所述丝杆(6)的外部对应通过两根连接杆(5)连接托架(4)两侧的中部，所述气相沉积箱(1)外部一侧的下部安装有真空泵(2)，所述气相沉积箱(1)的底部水平安装有导轨(10)，所述导轨(10)的上部安装移动小车(8)，所述移动小车(8)的上部竖直安装有蒸镀器(9)，所述气相沉积箱(1)顶部开口的上部滑动安装有活动门(3)，所述蒸镀器(9)包括密封箱(91)、蒸发物(92)、加热电阻丝(93)、导筒(94)、连接筒(95)、出气口(96)和导流板(97)，所述密封箱(91)底板的中部放置有蒸发物(92)，所述密封箱(91)两侧开设的凹槽内对应安装有加热电阻丝(93)，所述密封箱(91)顶部开口的上部焊接有导筒(94)，所述导筒(94)的上部连接有连接筒(95)，所述连接筒(95)的顶端水平焊接有出气口(96)，所述出气口(96)的上部水平安装有导流板(97)。

2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积设备，其特征在于：所述蒸镀器(9)还包括转动电机(98)，所述转动电机(98)的输出轴末端安装有齿轮啮合连接筒(95)外侧开设的齿槽。

3.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积设备，其特征在于：所述连接筒(95)下部的外表面安装有密封圈且密封圈外缘与导筒(94)内侧接触，所述导筒(94)内部的两侧对应安装有两组电阻丝。

4.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积设备，其特征在于：所述导流板(97)包括弧形板(971)、气缸(972)和支杆(973)，两片所述弧形板(971)的中部对应通过两根支杆(973)转动连接出气口(96)的两侧，两片所述弧形板(971)的底部对应转动连接两组气缸(972)的活塞杆末端，两组所述气缸(972)的底端对应通过两片固定片连接出气口(96)底部两侧。

5.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积设备，其特征在于：所述真空泵(2)顶部的接口连接输气管(11)的一端，所述输气管(11)的另一端连通气相沉积箱(1)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积设备，其特征在于：两根所述连接杆(5)的底端焊接固定于托架(4)的两侧，两根所述连接杆(5)的顶端通过焊接的丝杆螺母螺纹对应连接两根丝杆(6)。

7.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积设备，其特征在于：两根所述丝杆(6)底端对应转动连接气相沉积箱(1)的侧壁，所述气相沉积箱(1)顶部的开口上部安装有密封圈。