[实用新型]一种可拆卸式片篮装置有效
申请号: | 201821711066.1 | 申请日: | 2018-10-22 |
公开(公告)号: | CN209029346U | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 古元甲;刘涛;张建形 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 第二挡板 第一挡板 可拆卸式 本实用新型 可拆卸连接 插片机构 移动机构 注塑 一体式结构 挡板 加工周期 间距变化 可拆卸的 制造成本 硅片 片齿 下端 匹配 改进 | ||
1.一种可拆卸式片篮装置,其特征在于:包括第一挡板、第二挡板、插片机构和移动机构,其中所述插片机构的两端分别与所述第一挡板和所述第二挡板可拆卸连接,所述移动机构分别与所述第一挡板和所述第二挡板的下端可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的可拆卸式片篮装置,其特征在于:所述插片机构包括片齿和连接板,所述片齿与所述连接板紧固连接,所述连接板的两端分别与所述第一挡板和所述第二挡板连接。
3.根据权利要求2所述的可拆卸式片篮装置,其特征在于:所述第一挡板与所述第二挡板上方与横梁可拆卸连接。
4.根据权利要求3所述的可拆卸式片篮装置,其特征在于:所述片齿的两端分别设有紧固板,所述紧固板分别设有第一连接端和第二连接端,所述第一连接端分别与所述第一挡板和所述第二挡板连接,所述第二连接端与所述横梁连接。
5.根据权利要求1所述的可拆卸式片篮装置,其特征在于:所述移动机构包括支架和移动部,所述支架两端均设有缺口,所述缺口分别与所述第一挡板和所述第二挡板的底部卡接,所述移动部设于所述支架上。
6.根据权利要求5所述的可拆卸式片篮装置,其特征在于:所述移动部包括第一转轴和第一转轮,所述第一转轴均设于所述支架上,所述第一转轴与所述第一转轮转动连接。
7.根据权利要求6所述的可拆卸式片篮装置,其特征在于:所述移动部还包括第二转轴和第二转轮,所述第二转轴均设于所述支架上,所述第二转轴与所述第二转轮转动连接。
8.根据权利要求7所述的可拆卸式片篮装置,其特征在于:所述第一转轴与所述第二转轴的轴线垂直设置。
9.根据权利要求5-8任一项所述的可拆卸式片篮装置,其特征在于:所述支架上设有聚丙烯层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造