[实用新型]一种用于显微镜观察的操作装置

权利要求书

1.一种用于显微镜观察的操作装置，包括安装板(4)、转动支架(5)、晶舟盒(7)、控制器(8)和底座(9)，其特征在于，所述底座(9)前端外表面固定安装有控制器(8)，底座(9)顶部固定安装有放置座(27)、转动支架(5)和晶舟盒(7)，放置座(27)和晶舟盒(7)分别位于转动支架(5)的两侧，晶舟盒(7)内侧底部固定安装有若干斜插(6)，放置座(27)顶部开设有槽体(12)，槽体(12)内侧底部固定安装有光源灯(13)，槽体(12)的两侧上方固定安装有透光镜(11)，放置座(27)顶部开设有弧形槽(10)，弧形槽(10)与槽体(12)一侧连通，放置座(27)顶部固定安装有安装板(4)，安装板(4)的前端外表面固定安装有工作机箱(2)，工作机箱(2)顶部固定安装有观察显示屏(1)，工作机箱(2)底部固定安装有高倍物镜(3)，转动支架(5)内部开设有腔体(20)，腔体(20)的内侧底部固定安装有转动座(19)，转动支架(5)顶部固定安装有第一电机(18)，第一电机(18)的输出轴通过联轴器贯穿至腔体(20)与转动座(19)的顶部连接，转动支架(5)外侧设有与腔体(20)相通的开口且开口俯视图呈半圆，转动座(19)一侧通过安装件贯穿开口固定安装有第一电动伸缩杆(17)，第一电动伸缩杆(17)伸缩杆的自由端固定安装有转轴(16)，转轴(16)外部固定安装有第二电机(29)，第二电机(29)的输出轴贯穿至转轴(16)内连接轴转动轴，转轴(16)远离转动支架(5)的一侧设有与转动轴相通的开口，转动轴一侧固定安装有连接杆(15)的一端，连接杆(15)的自由端贯穿开口固定安装有安装座(14)，安装座(14)底部固定安装有位移传感器(26)，转轴(16)后端外表面固定安装有角度传感器(25)，安装座(14)一侧固定安装有上夹板(21)，上夹板(21)顶部固定安装有第二电动伸缩杆(28)，上夹板(21)远离安装座(14)的一侧固定安装有光纤传感器(24)，安装座(14)远离转动支架(5)的一侧转动安装有下夹板(23)，下夹板(23)位于上夹板(21)下方，第二电动伸缩杆(28)伸缩杆的自由端贯穿至上夹板(21)下方与下夹板(23)的顶部转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于显微镜观察的操作装置，其特征在于，所述斜插(6)将晶舟盒(7)内部分为若干个用于放置晶圆的腔体。

3.根据权利要求1所述的一种用于显微镜观察的操作装置，其特征在于，所述安装座(14)一侧设有与第一转轴(16)外表面相匹配的弧形面，安装座(14)的外弧面与第一转轴(16)的一侧相贴合。

4.根据权利要求1所述的一种用于显微镜观察的操作装置，其特征在于，所述下夹板(23)的顶部固定安装有垫板(22)。

5.根据权利要求1所述的一种用于显微镜观察的操作装置，其特征在于，所述控制器(8)分别与第一电动伸缩杆(17)、第一电机(18)、光纤传感器(24)、角度传感器(25)、位移传感器(26)、第二电动伸缩杆(28)和第二电机(29)电连接。