[实用新型]一种用于显微镜观察的操作装置

说明书

本实用新型公开了一种用于显微镜观察的操作装置，包括安装板、转动支架、晶舟盒、控制器和底座，所述底座前端外表面固定安装有控制器，底座顶部固定安装有放置座、转动支架和晶舟盒，放置座和晶舟盒分别位于转动支架的两侧，晶舟盒内侧底部固定安装有若干斜插，所述斜插将晶舟盒内部分为若干个用于放置晶圆的腔体，放置座顶部开设有槽体，槽体内侧底部固定安装有光源灯，槽体的两侧上方固定安装有透光镜，放置座顶部开设有弧形槽，弧形槽与槽体一侧连通，放置座顶部固定安装有安装板。本实用新型结构简单，在操作过程中能够对晶圆进行精准的夹持，能够提高工作效率，通过还能避免晶圆损坏，从而避免产生碎片而对装置造成刮伤。

技术领域

本实用新型涉及驱动芯片金凸块领域，具体是一种用于显微镜观察的操作装置。

背景技术

显微镜是由一个透镜或几个透镜的组合构成的一种光学仪器，是人类进入原子时代的标志。主要用于放大微小物体成为人的肉眼所能看到的仪器。显微镜分光学显微镜和电子显微镜：光学显微镜是在1590年由荷兰的詹森父子所首创。现在的光学显微镜可把物体放大1600倍，分辨的最小极限达波长的1/2，国内显微镜机械筒长度一般是160毫米，其中对显微镜研制，微生物学有巨大贡献的人为列文虎克、荷兰籍。

半导体晶圆一般储存在晶舟盒内，在对半导体晶圆进行观察的过程中，在对晶圆进行夹持过程中，需要使用到夹持工具，夹持工具无法侦测晶舟盒内叠片和斜插，往往会以为操作不当导致晶圆损坏产生碎片对装置造成刮伤，所以需对其进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于显微镜观察的操作装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于显微镜观察的操作装置，包括安装板、转动支架、晶舟盒、控制器和底座，所述底座前端外表面固定安装有控制器，底座顶部固定安装有放置座、转动支架和晶舟盒，放置座和晶舟盒分别位于转动支架的两侧，晶舟盒内侧底部固定安装有若干斜插，放置座顶部开设有槽体，槽体内侧底部固定安装有光源灯，槽体的两侧上方固定安装有透光镜，放置座顶部开设有弧形槽，弧形槽与槽体一侧连通，放置座顶部固定安装有安装板，安装板的前端外表面固定安装有工作机箱，工作机箱顶部固定安装有观察显示屏，工作机箱底部固定安装有高倍物镜，转动支架内部开设有腔体，腔体的内侧底部固定安装有转动座，转动支架顶部固定安装有第一电机，第一电机的输出轴通过联轴器贯穿至腔体与转动座的顶部连接，转动支架外侧设有与腔体相通的开口且开口俯视图呈半圆，转动座一侧通过安装件贯穿开口固定安装有第一电动伸缩杆，第一电动伸缩杆伸缩杆的自由端固定安装有转轴，转轴外部固定安装有第二电机，第二电机的输出轴贯穿至转轴内连接轴转动轴，转轴远离转动支架的一侧设有与转动轴相通的开口，转动轴一侧固定安装有连接杆的一端，连接杆的自由端贯穿开口固定安装有安装座，安装座底部固定安装有位移传感器，转轴后端外表面固定安装有角度传感器，安装座一侧固定安装有上夹板，上夹板顶部固定安装有第二电动伸缩杆，上夹板远离安装座的一侧固定安装有光纤传感器，安装座远离转动支架的一侧转动安装有下夹板，下夹板位于上夹板下方，第二电动伸缩杆伸缩杆的自由端贯穿至上夹板下方与下夹板的顶部转动连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述斜插将晶舟盒内部分为若干个用于放置晶圆的腔体。

作为本实用新型再进一步的方案：所述安装座一侧设有与第一转轴外表面相匹配的弧形面，安装座的外弧面与第一转轴的一侧相贴合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述下夹板的顶部固定安装有垫板。

作为本实用新型再进一步的方案：所述控制器分别与第一电动伸缩杆、第一电机、光纤传感器、角度传感器、位移传感器、第二电动伸缩杆和第二电机电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：