[实用新型]一种制备周期极化畴反转晶体的装置

权利要求书

1.一种制备周期极化畴反转晶体的装置，其特征在于：包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的两侧分别设置有两电极板，两电极板连接位于真空腔外的控制电路，控制电路控制两电极板之间产生高频低压电场，铁电晶体的上方设置有若干电晕线，电晕线连接位于真空腔外的气体源和高压电源。

2.根据权利要求1所述的一种制备周期极化畴反转晶体的装置，其特征在于：两电极板分别设置在真空腔的两侧内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种制备周期极化畴反转晶体的装置，其特征在于：电晕线为S型电晕线或螺旋型电晕线。

4.根据权利要求3所述的一种制备周期极化畴反转晶体的装置，其特征在于：S型电晕线的两端从真空腔侧壁引出。

5.根据权利要求3所述的一种制备周期极化畴反转晶体的装置，其特征在于：螺旋型电晕线向中心处逐步螺旋升高，位于中心的一端从真空腔顶部引出，另一端从从真空腔侧壁引出。

6.根据权利要求1所述的一种制备周期极化畴反转晶体的装置，其特征在于：真空腔包括腔体以及与腔体连通的真空泵。

7.根据权利要求1所述的一种制备周期极化畴反转晶体的装置，其特征在于：样品台上开设有通道，通道的一端朝向铁电晶体底面，通道的另一端连接真空泵。

8.根据权利要求1所述的一种制备周期极化畴反转晶体的装置，其特征在于：还包括控制铁电晶体温度的温控装置。