[实用新型]一种晶棒的制作治具有效
申请号: | 201822186847.X | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN209532928U | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 黄世维;枋明辉;林彦甫;路林;杨胜裕 | 申请(专利权)人: | 福建晶安光电有限公司 |
主分类号: | B24B5/50 | 分类号: | B24B5/50;B24B41/06;B24B49/12;B24B5/36 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362411 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶棒 治具 种晶 夹具 磨床 激光检测装置 加工生产效率 本实用新型 中心轴位置 定位治具 工装设计 机械手臂 加工流程 偏摆位置 外圆磨床 轴心调整 自动检测 晶体的 中心轴 工装 光闸 夹持 外圆 制作 搭配 加工 | ||
1.一种晶棒的制作治具,用于为晶棒外圆滚圆提出晶体轴心自动检测的定位治具,其特征在于,具有位于晶棒一端为晶棒提供支撑的第一夹具,为晶棒测量轴心偏差的光闸检测装置,调整晶棒轴心和第一夹具相对位置的机械臂,机械臂通过光闸检测装置计算的数据调整晶棒轴心,在晶棒调整完轴心后与第一夹具配合紧固晶棒的第二夹具。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒的制作治具,其特征在于,第一夹具、第二夹具和位于二者之间的晶棒紧固之后用于固定到磨床上进行外圆滚圆。
3.根据权利要求2所述的一种晶棒的制作治具,其特征在于,第一夹具和/或第二夹具远离晶棒的一端连接到磨床上,远离晶棒的一端具有定位孔。
4.根据权利要求1所述的一种晶棒的制作治具,其特征在于,第一夹具和/或第二夹具带动晶棒转动,光闸检测装置具有对晶棒外周位置数据进行收集的功能。
5.根据权利要求4所述的一种晶棒的制作治具,其特征在于,光闸检测装置具有光发射部件和光接收部件。
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