[实用新型]一种晶棒的制作治具有效
申请号: | 201822186847.X | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN209532928U | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 黄世维;枋明辉;林彦甫;路林;杨胜裕 | 申请(专利权)人: | 福建晶安光电有限公司 |
主分类号: | B24B5/50 | 分类号: | B24B5/50;B24B41/06;B24B49/12;B24B5/36 |
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地址: | 362411 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶棒 治具 种晶 夹具 磨床 激光检测装置 加工生产效率 本实用新型 中心轴位置 定位治具 工装设计 机械手臂 加工流程 偏摆位置 外圆磨床 轴心调整 自动检测 晶体的 中心轴 工装 光闸 夹持 外圆 制作 搭配 加工 | ||
本实用新型公开了一种晶棒的制作治具,用于为晶棒外圆滚圆提出晶体中心轴自动检测的定位治具,该治具可以通过光闸激光检测装置快速找寻晶体的中心轴位置,再透过机械手臂调整偏摆位置,即可将轴心定位完成,将晶棒通过夹具固定并加以夹持,搭配外圆磨床工装设计,将轴心定位好的晶体与工装在轴心一致的状态下直接夹上滚圆磨床,实现晶棒加工中途无需再进行轴心调整,大幅简化加工流程提升加工生产效率。
技术领域
本实用新型属于晶体制作领域,具体涉及一种用于调整晶棒轴心位置的晶棒制作治具。
背景技术
压电材料(钽酸锂/铌酸锂)原料目前非常昂贵且晶体因应用上需求,故晶体毛胚存在偏角度且外观不规则的现象,参看图1,传统的晶棒加工技术-外圆滚圆加工过程中,利用夹具200工装夹持晶体毛胚需依赖人工对晶体毛胚进行轴心寻找,滚圆加工制程中途需多次用千分表量测并反覆调整中心轴位置才能将毛胚晶体滚磨成晶棒。
传统的晶棒外圆滚圆技术若不通过外加辅助治具及重复量测确认中心轴偏摆距离,易导致晶棒无法被完整滚磨加工,将存在部份晶棒长度无法滚出的现象。一般而言晶体毛胚若外型规则,滚圆加工可再50min内完成,若出现毛胚晶棒不规则现象,需使用千分表反覆多次调整轴心位置,大幅拉长加工时间到2h左右,加工效率低。
参看附图1,传统的晶棒外圆滚圆技术,因晶棒在加工时依赖人工调整滚磨中心轴让整个晶体外圆都能滚磨到,过程中容易导致中心轴偏离产生椭圆的现象,大幅降低后制程材料可利用率,使其材料成本上的浪费。
实用新型内容
本实用新型就是针对背景技术的问题提出一种可行的解决方案,通过此方案可以解决晶棒在上磨床磨圆前,难以定出轴心的问题。
本实用新型提供了一种晶棒的制作治具,用于为晶棒外圆滚圆提出晶体轴心自动检测的定位治具,即在晶棒上磨床前通过晶棒外圆识别出晶棒的轴心位置,该治具具有位于晶棒一端为晶棒提供支撑的第一夹具,为晶棒测量轴心偏差的光闸检测装置,调整晶棒轴心和第一夹具相对位置的机械臂,机械臂通过光闸检测装置计算的数据调整晶棒轴心,具体调整方式包括提供推力或者夹持移动,调整晶棒轴心和第一夹具的相对位置,晶棒调整完轴心后与第一夹具配合紧固晶棒的第二夹具。通常来说,在紧固前,第一夹具位于晶棒的下方,第二夹具位于晶棒的上方,二者朝向晶棒提供夹紧力,但不限于其他夹紧方式。
根据本实用新型,优选的,第一夹具、第二夹具和位于二者之间的晶棒用于固定到磨床上进行外圆滚圆。
根据本实用新型,优选的,第一夹具和/或第二夹具远离晶棒的一端连接到磨床上,远离晶棒的一端具有定位孔,定位孔用于确定第一夹具和/或第二夹具和磨床的相对位置,从而间接控制晶棒轴心和磨床的相对位置。与定位孔对应的磨床与第一夹具和/或第二夹具接触固定部位具有定位轴、定位销或其他定位机构,当然二者设计也可以根据需要调换,例如第一夹具和/或第二夹具具有定位凸起,而磨床具有定位孔,定位孔与定位凸起相互配合,实现第一夹具和/或第二夹具与磨床匹配定位的功能,方便对位安装。
根据本实用新型,优选的,用伺服马达旋转第一夹具和/或第二夹具,第一夹具和/或第二夹具带动晶棒转动,光闸检测装置具有对晶棒外周位置数据进行收集的功能。
根据本实用新型,优选的,光闸检测装置具有光发射部件和光接收部件,光发射部件出光如未遇到晶棒则由光接收部件接收,直到出光恰好被晶棒遮挡而无射入光接收部件。
本实用新型的有益效果,至少包括:
透过光闸检测装置自动检测判断和机械臂配合的整套系统,可快速并准确地完成轴心定位作业。实现晶棒加工中途无需再进行轴心调整,大幅简化加工流程提升加工生产效率。配套的定位孔与定位凸起相互配合,快速准确的定位装配。
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