[发明专利]电压施加装置和输出电压波形的形成方法

权利要求书

1.一种电压施加装置，其在对形成于基片上的多个被检查器件检查电特性的检测器中，对所述被检查器件施加电压，所述电压施加装置的特征在于：

所述电压施加装置具有电压设定部，在被赋予了包含设定电压值的规定的设定条件时，所述电压设定部设定作为过渡电压设定参数的过渡阶梯数、阶梯时间、阶梯电压，以能够形成适合于所述规定的设定条件的、具有多个过渡阶梯的阶梯状的过渡电压波形，

基于由所述电压设定部设定的所述过渡电压设定参数，输出具有所述阶梯状的过渡电压波形的输出电压，

将从所述电压施加装置输出的输出电压阶梯地输入到与所述电压施加装置连接的所述被检查器件时的响应，是对设定电压产生过冲的2阶以上的高阶延迟系统，

由所述电压设定部设定的各过渡阶梯的所述阶梯时间的终点，被设定成所述高阶延迟系统的阶梯响应曲线中的从上升时间的终点至超调时间之间的时间。

2.如权利要求1所述的电压施加装置，其特征在于：

还包括数模转换器和输出电路，基于由所述电压设定部设定的所述过渡电压设定参数，经所述数模转换器和所述输出电路输出具有所述阶梯状的过渡电压波形的输出电压。

3.如权利要求1或2所述的电压施加装置，其特征在于：

所述过渡电压波形形成为所述过渡阶梯的所述阶梯电压随着所述过渡阶梯进展而变小。

4.如权利要求1或2所述的电压施加装置，其特征在于：

所述电压设定部与包含设定电压值的多个设定条件对应地，从存储有多个作为所述过渡电压设定参数的所述过渡阶梯数、所述阶梯时间、所述阶梯电压的数据库，获取适合于所述规定的设定条件的所述过渡阶梯数、所述阶梯时间、所述阶梯电压。

5.如权利要求1或2所述的电压施加装置，其特征在于：

所述电压施加装置为器件电源(DPS)、参数测量单元(PMU)和各种驱动器的任意者。

6.一种输出电压波形的形成方法，所述输出电压波形是在对形成于基片上的多个被检查器件检查电特性的检测器中，从对所述被检查器件施加电压的电压施加装置输出的，所述输出电压波形的形成方法的特征在于，包括：

在被赋予了包含设定电压值的条件时，设定作为过渡电压设定参数的过渡阶梯数、阶梯时间、阶梯电压，以能够形成适合于所述条件的具有多个过渡阶梯的阶梯状的过渡电压波形的步骤；和

基于所述过渡电压设定参数，形成具有所述阶梯状的过渡电压波形的输出电压的步骤，

将从所述电压施加装置输出的输出电压阶梯地输入到与所述电压施加装置连接的所述被检查器件时的响应，是对设定电压产生过冲的2阶以上的高阶延迟系统，

各过渡阶梯的所述阶梯时间的终点，被设定成所述高阶延迟系统的阶梯响应曲线中的从上升时间的终点至超调时间之间的时间。

7.如权利要求6所述的输出电压波形的形成方法，其特征在于：

所述过渡电压波形形成为所述过渡阶梯的所述阶梯电压随着所述过渡阶梯进展而变小。

8.如权利要求6或7所述的输出电压波形的形成方法，其特征在于：

与包含设定电压值的多个设定条件对应地，从存储有多个作为所述过渡电压设定参数的所述过渡阶梯数、所述阶梯时间、所述阶梯电压的数据库，获取适合于规定的设定条件的所述过渡阶梯数、所述阶梯时间、所述阶梯电压。