[发明专利]一种蒸镀坩埚及蒸镀装置

说明书

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。用以解决蒸镀过程中坩埚中部温度高两侧温度低，而使得中间喷嘴的蒸镀速率大，两侧喷嘴的蒸镀速率小导致蒸镀不均匀的问题。一种蒸镀坩埚，包括坩埚主体，和设置在坩埚主体上的盖体，盖体上设有沿一直线等间距排列的多个喷嘴；坩埚主体内设有挡板，挡板水平设置且与坩埚主体可拆卸连接；在挡板和每个喷嘴之间均设置有结构相同的蒸汽通道，每个蒸汽通道的下端口与挡板的上表面连接；挡板上和每个蒸汽通道的下端口相交叠的区域均设有多个蒸汽溢出孔，在多个喷嘴的排列方向上，从中间的喷嘴到两侧的喷嘴，各自所对应连通的蒸汽溢出孔在竖直方向的投影的总面积逐渐增大。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)是在电场作用下使有机材料发光的器件，在制作时，通常采用蒸镀的方式在衬底上形成金属电极以及有机发光材料。

发明内容

本发明的实施例提供一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，用以解决蒸镀过程中坩埚中部温度高两侧温度低，而使得中间喷嘴的蒸镀速率大，两侧喷嘴的蒸镀速率小导致蒸镀不均匀的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

第一方面，提供了一种蒸镀坩埚，包括坩埚主体，和设置在所述坩埚主体上的盖体，所述盖体上设有多个喷嘴，多个所述喷嘴沿一直线等间距排列；所述坩埚主体内设有挡板，，所述挡板水平设置，将所述坩埚主体内空间分隔为上下两个空间，所述挡板与所述坩埚主体可拆卸连接；在所述挡板和每个所述喷嘴之间均设置有结构相同的蒸汽通道，每个所述蒸汽通道设置在所述挡板和每个所述喷嘴在竖直方向的正对位置处，且分别通过上端口与所述喷嘴相对应连通，通过下端口与所述挡板的上表面连接；所述挡板上和每个所述蒸汽通道的下端口相交叠的区域均设有多个蒸汽溢出孔，在多个所述喷嘴的排列方向上，从中间的喷嘴到两侧的喷嘴，各自所对应连通的蒸汽溢出孔在竖直方向上的投影的总面积逐渐增大。

可选的，在每个所述蒸汽通道的下端口和所述挡板相交叠的区域，每个所述蒸汽溢出孔在竖直方向的投影面积均相同，在多个所述喷嘴的排列方向上，从中间的喷嘴到两侧的喷嘴，各自所对应连通的蒸汽溢出孔的个数逐渐增大；或者，在每个所述蒸汽通道的下端口和所述挡板相交叠的区域，所述蒸汽溢出孔的个数均相同，在多个所述喷嘴的排列方向上，从中间的喷嘴到两侧的喷嘴，各自所对应连通的蒸汽溢出孔在竖直方向上的投影面积逐渐增大。

可选的，每个所述蒸汽通道从下到上呈渐缩状，且每个所述喷嘴在竖直方向的投影均位于与之相对应连通的蒸汽通道的下端口和所述挡板相交叠区域的中心位置处。

可选的，每个所述蒸汽通道由顶部设有开口的锥形板围合而成。

可选的，所述锥形板与所述挡板连接为一体结构，且每个所述锥形板的顶端分别和与之相对应连通的喷嘴的下端相抵接。

可选的，所述喷嘴和所述锥形板均为中空结构，所述中空结构中均设置有加热丝。

可选的，所述坩埚主体的侧部一周设置有凹槽，所述挡板的边缘嵌设在所述凹槽中，所述挡板由多个子挡板在水平方向上可收缩连接构成，且在多个该子挡板处于展开状态时，相邻的两个子挡板在竖直方向上具有交叠区。

可选的，所述盖体和所述喷嘴连接为一体结构。

可选的，所述坩埚主体为长方体结构，所述盖体为长方形，多个所述喷嘴沿所述长方形的长边的延伸方向等间距排列。

可选的，所述挡板和所述锥形版的材料包括不锈钢、三氧化二铝、钛、氮化硼中的一种或几种混合材料。

第二方面，本发明实施例提供一种蒸镀装置，包括如上所述的蒸镀坩埚。