[发明专利]一种多晶硅铸锭硅片清洗设备

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，包括装置主体、升降机构(2)和清洗机构(9)，其特征在于：所述装置主体包括加工箱体(1)、抛光杆(3)、驱动机(4)、转轴(5)、内箱(6)、集水槽(7)、泵体(8)和支腿(10)，所述支腿(10)设置在加工箱体(1)下端面，所述驱动机(4)设置在加工箱体(1)顶端面中间位置，所述转轴(5)转动连接在加工箱体(1)内部，且与驱动机(4)的输出端传动连接，所述抛光杆(3)设置在转轴(5)上，所述集水槽(7)设置在加工箱体(1)内部底端面，所述内箱(6)位于集水槽(7)上方；

所述升降机构(2)设置在加工箱体(1)内部上侧，所述升降机构(2)包括电机一(21)、滑轮(22)、传动轴(23)和绳索(24)，所述传动轴(23)转动连接在加工箱体(1)内部靠上部位，所述滑轮(22)设有两个，两个滑轮(22)对称转动连接在传动轴(23)上，所述滑轮(22)通过绳索(24)与内箱(6)固定连接，所述传动轴(23)与电机一(21)的输出端传动连接；

所述清洗机构(9)包括辅助清洁组件(91)和电机二(92)，所述电机二(92)设置在加工箱体(1)底端面，所述辅助清洁组件(91)设有两个，两个所述辅助清洁组件(91)对称设置在加工箱体(1)内部，所述辅助清洁组件(91)包括支架(911)、高压喷头(912)、滑块(913)、齿条(914)、齿轮(915)和安装轴(916)，所述齿条(914)通过滑块(913)滑动连接在加工箱体(1)内部，所述齿轮(915)通过安装轴(916)转动连接在加工箱体(1)内部，所述齿轮(915)的齿槽与齿条(914)的齿槽相啮合，所述高压喷头(912)通过支架(911)与齿条(914)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述支腿(10)设有四个，四个所述支腿(10)分别设置在加工箱体(1)下端面四个棱角处。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述加工箱体(1)前端面铰接有箱门(11)，箱门(11)中间位置设置有透明观察窗(13)，箱门(11)前端面上侧设置有把手(12)。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述泵体(8)通过软管与高压喷头(912)连接。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述内箱(6)底端面开设有漏孔(a)。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述集水槽(7)内部设置有过滤网，且过滤网为双层结构。

7.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：两个所述安装轴(916)之间通过同步带传动连接，且安装轴(916)与电机二(92)的输出端传动连接。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，其特征在于：所述抛光杆(3)设有若干个，若干个所述抛光杆(3)呈环形等距排布于转轴(5)环形侧面。