[发明专利]一种OLED显示面板及其制备方法有效
| 申请号： | 201910095008.3 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109904341B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 孙佳佳 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 oled 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
1.一种OLED显示面板，其特征在于，所述OLED显示面板包括：
衬底基板；
设置在所述衬底基板上的薄膜晶体管基板；
设置在所述薄膜晶体管基板上的发光层；以及
设置在所述薄膜晶体管基板上且覆盖所述发光层的封装层；
其中，所述薄膜晶体管基板与所述封装层接触的一侧上设置有凹槽，所述封装层的部分位于所述凹槽中；所述封装层包括覆盖所述发光层的第一无机层、设置在所述第一无机层上的有机层，以及，覆盖所述第一无机层和有机层的第二无机层，所述第二无机层的部分位于所述凹槽中；所述薄膜晶体管基板的顶层为无机膜层，所述凹槽设置在所述无机膜层上；所述凹槽向靠近所述封装层的方向逐渐变窄。
2.根据权利要求1所述的OLED显示面板，其特征在于，所述凹槽的纵截面的整体形状呈正梯形或水滴状。
3.根据权利要求1所述的OLED显示面板，其特征在于，所述凹槽绕所述发光层设置有至少一圈。
4.根据权利要求3所述的OLED显示面板，其特征在于，至少一条所述凹槽的横截面的整体形状呈平行四边形。
5.根据权利要求3所述的OLED显示面板，其特征在于，至少一条所述凹槽的横截面的每条侧边的形状呈波形状。
6.根据权利要求5所述的OLED显示面板，其特征在于，至少一条所述凹槽的横截面的每条侧边的形状呈波浪状。
7.一种OLED显示面板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S10、在衬底基板上形成薄膜晶体管基板；
S20、在所述薄膜晶体管基板上形成发光层；
S30、在所述薄膜晶体管基板的上表面上形成凹槽；
S40、在所述薄膜晶体管基板上形成填充所述凹槽且覆盖所述发光层的封装层；
其中，所述封装层包括覆盖所述发光层的第一无机层、设置在所述第一无机层上的有机层，以及，覆盖所述第一无机层和有机层的第二无机层，所述第二无机层的部分位于所述凹槽中；所述薄膜晶体管基板的顶层为无机膜层，所述凹槽设置在所述无机膜层上；所述凹槽向靠近所述封装层的方向逐渐变窄。
8.根据权利要求7所述的OLED显示面板的制备方法，其特征在于，在所述步骤S30中，采用蚀刻液对所述薄膜晶体管基板进行蚀刻，以形成所述凹槽。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
